[實用新型]硅片印刷機正面電極印刷工位的定位工裝有效
| 申請號: | 201320596559.6 | 申請日: | 2013-09-26 |
| 公開(公告)號: | CN203528055U | 公開(公告)日: | 2014-04-09 |
| 發明(設計)人: | 高超;徐昌華;史才成;孟憲亮;郝子龍;鄭銀先;華貴俊;陳前兆 | 申請(專利權)人: | 江蘇晶鼎電子材料有限公司 |
| 主分類號: | B41F15/20 | 分類號: | B41F15/20 |
| 代理公司: | 淮安市科文知識產權事務所 32223 | 代理人: | 謝觀素 |
| 地址: | 223700 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 硅片 印刷機 正面 電極 印刷工 定位 工裝 | ||
技術領域
本實用新型涉及半導體材料加工生產領域,具體涉及一種硅片印刷機正面電極印刷工位的定位工裝。
背景技術
隨著半導體設備行業數十年來的技術積累,光伏設備企業已基本具備太陽能電池制造設備的整線裝備能力。光伏太陽能硅片印刷機已廣泛應用于光伏太陽能硅片的印刷生產,印刷光伏太陽能硅片的最關鍵的步驟之一是在硅片的正面和背面制造非常精細的電路,這種金屬鍍膜工藝通常由絲網印刷技術來完成,即將含有金屬的導電漿料透過絲網網孔壓印在硅片上形成電路或電極。由此可見,光伏太陽能硅片的質量好壞很大程度取決于光伏太陽能硅片印刷機的設備質量。
現有的印刷機正面電極印刷工位的工件臺上表面設有與抽真空管連接的氣孔,運行時硅片與工件臺上表面貼合,硅片在氣孔的作用下真空吸附定位,印刷完成后,停止抽真空,工件臺底部的升降桿將硅片頂出工件臺。但是由于硅片的底面平滑,盡管加工完成后工件臺已不再抽真空,硅片的底面依然會與工件臺貼合緊密,升降桿頂出硅片時若兩者貼合太緊容易損壞硅片,造成廢品。
發明內容
本實用新型要解決的技術問題是提供一種硅片印刷機正面電極印刷工位的定位工裝,裝卸工件快速簡單,且不對工件造成損壞,大大降低工件卸料時損壞率。
本實用新型通過以下技術方案實現:
硅片印刷機正面電極印刷工位的定位工裝,包括用于固定硅片的真空吸盤,真空吸盤1的上表面上設有若干氣孔,所述氣孔與印刷機抽真空裝置、印刷機送風系統連通。
本實用新型進一步的改進方案是,所述真空吸盤上設有與氣孔連通的進氣口、出氣口,所述進氣口通過連接管與所述印刷機送風系統連接,所述出氣口通過另一根連接管與所述印刷機抽真空裝置連接,所述的連接管上都設有與所述印刷機控制系統電連接的控制閥;或者所述真空吸盤上設有一個與所述氣孔連通的輸氣口,所述輸氣口通過連接管與換向閥的出口連接,所述換向閥的兩進口分別通過連接管與所述印刷機抽真空裝置、印刷機送風系統連接。
本實用新型進一步改進方案是,所述換向閥連接有時間繼電器,所述時間繼電器與印刷機的控制系統電連接。
本實用新型與現有技術相比具有以下優點:
本實用新型在定位時連通抽真空裝置,能夠吸附硅片使其定位便于加工,在加工完成后關閉切斷抽真空裝置,頂桿向上頂起的同時吸盤連通送氣裝置,用氣流向上頂硅片,在氣流和頂桿的同時作用下,能夠保證硅片快速完整的取出,大大降低工件在卸料時的損壞率。
附圖說明
圖1為本實用新型雙接口俯視示意圖。
圖2為本實用新型單接口俯視示意圖。
具體實施方式
如圖1所述的硅片印刷機正面電極印刷工位的定位工裝,包括用于固定硅片的真空吸盤1,真空吸盤1的上表面上設有若干氣孔8,氣孔8與印刷機抽真空裝置2、印刷機送風系統3連通。本實用新型在定位時連通抽真空裝置,能夠吸附硅片使其定位便于加工,在加工完成后關閉切斷抽真空裝置,頂桿向上頂起的同時吸盤連通送氣裝置,用氣流向上頂硅片,在氣流和頂桿的同時作用下,能夠保證硅片快速完整的取出。
具體的是,真空吸盤1上設有與所述氣孔8連通的進氣口4、出氣口5,進氣口4通過連接管與印刷機送風系統3連接,出氣口5通過另一根連接管與印刷機抽真空裝置2連接,所述的連接管上都設有與印刷機控制系統電連接的控制閥6。
或者真空吸盤1設有一個與氣孔8連通的輸氣口41,輸氣口41通過連接管與換向閥7的出口連接,換向閥7的兩進口分別通過連接管與所述印刷機抽真空裝置2、印刷機送風系統3連接,換向閥7連接有時間繼電器,時間繼電器與印刷機的控制系統電連接。
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