[實用新型]雙開門藍寶石單晶生長爐腔室有效
| 申請號: | 201320595099.5 | 申請日: | 2013-09-24 |
| 公開(公告)號: | CN203530497U | 公開(公告)日: | 2014-04-09 |
| 發明(設計)人: | 陳有生 | 申請(專利權)人: | 上海朗兆機電設備有限公司 |
| 主分類號: | C30B29/20 | 分類號: | C30B29/20;C30B15/00 |
| 代理公司: | 上海順華專利代理有限責任公司 31203 | 代理人: | 沈履君 |
| 地址: | 201415 上海市*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 雙開 藍寶石 生長 爐腔室 | ||
技術領域
本實用新型屬于藍寶石單晶生產領域,特別是一種藍寶石單晶生長爐腔室的雙開門結構設計。
背景技術
藍寶石單晶生長爐行業,傳統上都是圓爐筒、上下合蓋的結構。熱場安裝有兩種主要方式:一、引晶部件旋轉開一定的角度,讓開腔室上部空間,在上開口進行吊裝操作,完成熱場安裝;二、腔室上部留有適當的空間,將熱場安放在下腔室蓋上,通過下腔室蓋的升降操作,完成熱場安裝。生產過程中下部熱場的耗損和異常狀況也不便于觀察。熱場的維護操作也不方便。EFG工藝方法的藍寶石單晶生長爐腔室結構上也有側面開門的結構,但僅限于單開門。
實用新型內容
本實用新型的目的在于提供一種方便熱場的維護和操作的雙開門藍寶石單晶生長爐腔室。
為解決上述技術問題,本實用新型雙開門藍寶石單晶生長爐腔室,包括:腔室主體;腔室門,所述腔室門的數量為兩個,兩個所述腔室門通過鉸鏈銷軸設置在所述腔室主體的兩側;鎖扣,所述鎖扣設置在所述腔室主體上,所述鎖扣的位置與所述腔室門的位置相匹配。
在腔室主體上還設有密封圈。
本實用新型雙開門藍寶石單晶生長爐腔室在腔室主體左右對開雙門框,左右兩扇腔室門通過鉸鏈銷軸聯接在一起,門可以旋轉打開關閉,腔室門與門框之間通過鎖扣鎖住或松開;對腔室主體內的一些操作,打開門就可以便利的進行。
附圖說明
圖1為本實用新型雙開門藍寶石單晶生長爐腔室俯視圖。
本實用新型雙開門藍寶石單晶生長爐腔室附圖中附圖標記說明:
1-腔室主體???????????2-腔室門?????????????3-鉸鏈銷軸
4-鎖扣???????????????5-密封圈
具體實施方式
下面結合附圖對本實用新型雙開門藍寶石單晶生長爐腔室作進一步詳細說明。
如圖1所示,本實用新型雙開門藍寶石單晶生長爐腔室,包括:腔室主體1;腔室門2,腔室門2的數量為兩個,兩個腔室門2通過鉸鏈銷軸3設置在腔室主體1的兩側,在腔室主體1上還設有密封圈5。鎖扣4,鎖扣4設置在腔室主體1上,鎖扣4的位置與腔室門2的位置相匹配。
本實用新型雙開門藍寶石單晶生長爐腔室在腔室主體左右對開雙門框,左右兩扇腔室門通過鉸鏈銷軸聯接在一起,門可以旋轉打開關閉,腔室門與門框之間通過鎖扣鎖住或松開;對腔室主體內的一些操作,打開門就可以便利的進行。
以上已對本實用新型創造的較佳實施例進行了具體說明,但本實用新型創造并不限于實施例,熟悉本領域的技術人員在不違背本發明創造精神的前提下還可作出種種的等同的變型或替換,這些等同的變型或替換均包含在本申請權利要求所限定的范圍內。
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