[實(shí)用新型]對(duì)薄層材料進(jìn)行無損測(cè)量的方塊電阻測(cè)試儀

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320589025.0
• 申請(qǐng)日: 2013-09-23
• 公開（公告）號(hào): CN203479907U
• 公開（公告）日: 2014-03-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王昕;茍永江;龔紅玉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廣州市昆德科技有限公司
• 主分類號(hào): G01R27/14
• 分類號(hào): G01R27/14;G01R1/073
• 代理公司: 廣州市華學(xué)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44245
• 代理人: 裘暉

1.對(duì)薄層材料進(jìn)行無損測(cè)量的方塊電阻測(cè)試儀，包括四探針頭、測(cè)試架、主機(jī)、測(cè)量控制系統(tǒng)，主機(jī)內(nèi)包括恒流源電路和電源電路，其特征在于，方塊電阻測(cè)試儀還包括測(cè)試電壓調(diào)節(jié)器，測(cè)試電壓調(diào)節(jié)器設(shè)置在電源電路和四探針頭之間，用于在測(cè)試開始前調(diào)節(jié)四探針頭中兩個(gè)外探針之間的測(cè)試電壓。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的對(duì)薄層材料進(jìn)行無損測(cè)量的方塊電阻測(cè)試儀，其特征在于，所述方塊電阻測(cè)試儀還包括恒流源通斷切換開關(guān)，恒流源通斷切換開關(guān)設(shè)置在恒流源電路和四探針頭之間，用于控制在探針針尖完全壓觸在薄層材料表面后才接通恒流源電路。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的對(duì)薄層材料進(jìn)行無損測(cè)量的方塊電阻測(cè)試儀，其特征在于，所述主機(jī)的箱體上設(shè)置有人機(jī)交互界面，測(cè)試電壓調(diào)節(jié)器調(diào)節(jié)旋鈕和恒流源通斷切換開關(guān)均設(shè)置在該界面上，該界面上還同時(shí)設(shè)置有顯示屏，顯示屏用于對(duì)外顯示當(dāng)前設(shè)置的各部件的參數(shù)、以及測(cè)量結(jié)果。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的對(duì)薄層材料進(jìn)行無損測(cè)量的方塊電阻測(cè)試儀，其特征在于，所述四探針頭為紅寶石四探針頭，通過具有屏蔽功能的四芯電纜線與主機(jī)相連。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的對(duì)薄層材料進(jìn)行無損測(cè)量的方塊電阻測(cè)試儀，其特征在于，所述紅寶石四探針頭包括筒體、筒蓋，在筒體和筒蓋所形成的空腔內(nèi)設(shè)置有錐座、探針、螺旋彈簧、彈簧座、導(dǎo)引柱、導(dǎo)引柱座、調(diào)壓螺絲、上導(dǎo)引片、下導(dǎo)引片，所述導(dǎo)引柱座安裝在錐座上，導(dǎo)引柱座上固定設(shè)置有若干個(gè)導(dǎo)引柱，彈簧座上設(shè)有若干個(gè)導(dǎo)引通孔，導(dǎo)引柱分別穿過此導(dǎo)引通孔，彈簧座可在導(dǎo)引柱上滑動(dòng)；上導(dǎo)引片和下導(dǎo)引片分別設(shè)置于錐座的上下兩端，4根探針分別穿過上導(dǎo)引片和下導(dǎo)引片后與對(duì)應(yīng)螺旋彈簧通過金屬毛細(xì)管拼接在一起，每根螺旋彈簧尾部均固定在彈簧座上；筒蓋固定在筒體上，調(diào)壓螺絲穿過筒蓋后壓在彈簧座上，旋進(jìn)旋出以調(diào)節(jié)螺旋彈簧的壓力。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的對(duì)薄層材料進(jìn)行無損測(cè)量的方塊電阻測(cè)試儀，其特征在于，所述紅寶石四探針頭的探針為碳化鎢硬質(zhì)合金探針，針尖曲率半徑在25μm-900μm范圍內(nèi)，每根探針與每根螺旋彈簧通過毛細(xì)管拼接在一起，探針、金屬毛細(xì)管與螺旋彈簧構(gòu)成一個(gè)獨(dú)立的彈簧探針系統(tǒng)，每個(gè)彈簧探針系統(tǒng)的壓力范圍在25-250g之間。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的對(duì)薄層材料進(jìn)行無損測(cè)量的方塊電阻測(cè)試儀，其特征在于，所述測(cè)試電壓調(diào)節(jié)器的電壓調(diào)節(jié)范圍在5V-80V內(nèi)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的對(duì)薄層材料進(jìn)行無損測(cè)量的方塊電阻測(cè)試儀，其特征在于，所述測(cè)試電壓調(diào)節(jié)器包括一電位器，該電位器一端與電源電路相連，另一端與其中一個(gè)外探針相連。