[實用新型]單晶硅片清洗裝置有效
| 申請號： | 201320588616.6 | 申請日： | 2013-09-23 |
| 公開（公告）號： | CN203508507U | 公開（公告）日： | 2014-04-02 |
| 發明（設計）人： | 牛龍;王文;童林劍;張斌;胡亞東;董典謨;樊帥 | 申請（專利權）人： | 陜西天宏硅材料有限責任公司 |
| 主分類號： | B08B7/04 | 分類號： | B08B7/04 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 712038 陜西*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 單晶硅 清洗 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.單晶硅片清洗裝置，其特征在于，包括：
一進料槽，
一與進料槽順次連接的第一藥槽和第二藥槽，
以及一與第二藥槽連接的自來水溢流槽，
還包括一純水供水系統，所述純水供水系統包括一第一純水槽，一第二純水槽以及一第三純水槽，所述第一純水槽，第二純水槽以及第三純水槽相互連通，將通過第三純水槽、第二純水槽至第一純水槽的純水通過一溢流管通入純水溢流槽，
所述進料槽和自來水溢流槽均連接一自來水供水管，所述第一藥槽，第二藥槽，純水溢流槽，第二純水槽以及第三純水槽均連接一純水管。
2.根據權利要求1所述的單晶硅片清洗裝置，其特征在于：所述進料槽由一空氣鼓泡槽和一超聲槽構成。
3.根據權利要求1所述的單晶硅片清洗裝置，其特征在于：所述第二純水槽的進水管上安裝一進水控制閥。
4.根據權利要求1所述的單晶硅片清洗裝置，其特征在于：所述第三純水槽一側還設置一烘干箱。
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