[實(shí)用新型]表面形貌抗振干涉測量系統(tǒng)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201320584176.7 | 申請日： | 2013-09-22 |
| 公開（公告）號： | CN203464912U | 公開（公告）日： | 2014-03-05 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 曹衍龍;吳紫澗;管佳燕;徐朋;李博;張哲嘉;吳濤;周威杰;葉雪峰;趙奎 | 申請（專利權(quán)）人： | 浙江大學(xué) |
| 主分類號： | G01B11/30 | 分類號： | G01B11/30 |
| 代理公司： | 浙江杭州金通專利事務(wù)所有限公司 33100 | 代理人： | 黃芳;趙芳 |
| 地址： | 310027 浙*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 表面 形貌 干涉 測量 系統(tǒng) | ||
1.表面形貌抗振干涉測量系統(tǒng)，其特征在于：該測量系統(tǒng)包括白光光源，將白光光源過濾成單色光的聲光可調(diào)濾光器（AOTF），和使單色光分成兩路的第一分光鏡，一路單色光經(jīng)第一物鏡入射到被測工件，另一路單色光經(jīng)第二物鏡入射到參考反射鏡，入射到被測工件和參考反射鏡的單色光被反射后在第一分光鏡處匯合并產(chǎn)生干涉，干涉光經(jīng)第二分光鏡分成兩路，第一路干涉光進(jìn)入用于獲取被測工件的表面形貌的測量模塊，第二路干涉光進(jìn)入用于抑制噪聲干擾的補(bǔ)償模塊；聲光可調(diào)濾光器依次與驅(qū)動器，單片機(jī)掃頻模塊和聲光可調(diào)濾光器與DSP模塊控制單元連接，單片機(jī)掃頻模塊由聲光可調(diào)濾光器與DSP模塊控制單元觸發(fā)；
測量模塊包括CCD相機(jī)和計(jì)算機(jī)，測量模塊工作時(shí)單片機(jī)掃頻模塊采用低速掃頻模式，第一路干涉光經(jīng)第一成像透鏡進(jìn)入CCD相機(jī)，CCD相機(jī)采集第一路干涉光形成的干涉圖像并將干涉圖像輸入計(jì)算機(jī)中，計(jì)算機(jī)計(jì)算獲得被測工件的表面三維形貌；
聲光可調(diào)濾光器與DSP模塊控制單元受控于計(jì)算機(jī)；補(bǔ)償模塊包括光電探測器，DSP控制模塊和壓電陶瓷，補(bǔ)償模塊工作時(shí)單片機(jī)掃頻模塊采用高速掃頻模式，第二路干涉光經(jīng)第二成像透鏡進(jìn)入光電探測器，光電探測器將光信號轉(zhuǎn)換為電信號并將該電信號輸入DSP控制模塊，DSP控制模塊計(jì)算出需要補(bǔ)償?shù)墓獬滩睿粔弘娞沾墒芸赜贒SP控制模塊，壓電陶瓷與參考反射鏡固定，壓電陶瓷的形變長度等于參考反射鏡移動的距離。
2.如權(quán)利要求1所述的表面形貌抗振干涉測量系統(tǒng)，其特征在于：白光光源與聲光可調(diào)濾光器之間依次設(shè)有使白光形成點(diǎn)光源的第一光闌，和將點(diǎn)光源分散成平行光的第一準(zhǔn)直鏡。
3.如權(quán)利要求2所述的表面形貌抗振干涉測量系統(tǒng)，其特征在于：聲光可調(diào)濾光器與第一分光鏡之間依次設(shè)有第二光闌和第二準(zhǔn)直鏡。
4.如權(quán)利要求3所述的表面形貌抗振干涉測量系統(tǒng)，其特征在于：聲光濾光器驅(qū)動器的輸出頻率由單片機(jī)掃頻模塊控制，所述的單片機(jī)掃頻模塊對驅(qū)動器施加不同頻率的電信號，聲光濾光器從白光源中過濾出不同波長的單色光。
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