[實用新型]一種折線間隙型牽引級

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320578474.5
• 申請日: 2013-09-18
• 公開（公告）號: CN203488392U
• 公開（公告）日: 2014-03-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 于天化;董欣;郁晉軍;劉敏強(qiáng)
• 申請（專利權(quán)）人: 北京北儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限責(zé)任公司
• 主分類號: F04D19/04
• 分類號: F04D19/04
• 代理公司: 北京鑫浩聯(lián)德專利代理事務(wù)所(普通合伙) 11380
• 代理人: 呂愛萍

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型屬于流體機(jī)械技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于半導(dǎo)體、節(jié)能燈、太陽能制造行業(yè)中用于獲得真空的分子泵的折線間隙型牽引級。

背景技術(shù)

分子真空泵是在1911年由德國人蓋德(w·Gaede)首先發(fā)明的。其原理是靠高速運動的剛體表面?zhèn)鬟f給氣體分子以動量，使氣體分子在剛體表面的運動方向上產(chǎn)生定向流動，從而達(dá)到抽氣的目的。

Howleck式牽引級是在圓柱狀的轉(zhuǎn)子上開出螺旋槽，配合光筒狀定子進(jìn)行抽氣，或通過在定子上開螺旋槽，配合圓柱轉(zhuǎn)子進(jìn)行抽氣的牽引級結(jié)構(gòu)。

由于Howleck式牽引級在工作過程中，氣體的流動方向變化不大，所有擁有較高的抽速，但轉(zhuǎn)子與定子之間存在的間隙所造成的氣體返流，會較大的影響其壓縮比和工作效率。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于改變現(xiàn)有技術(shù)中的不足，而提供一種折線間隙型牽引級，在轉(zhuǎn)子和定子上，配對的加工出階梯，使得轉(zhuǎn)子和定子之間的間隙由直線的間隙，變成折線型，達(dá)到光密性效果。

本實用新型所采用的技術(shù)方案：

一種折線間隙型牽引級，包括轉(zhuǎn)子和定子，其特征在于：所述轉(zhuǎn)子與定子之間留有間隙，所述定子內(nèi)壁設(shè)置有環(huán)形階梯，且環(huán)形階梯內(nèi)壁的直徑與其相對應(yīng)的轉(zhuǎn)子部分的最大直徑形成間隙配合。

所述定子為一個整體，其進(jìn)氣端直徑小于排氣端直徑，即從進(jìn)氣端到排氣定子直徑逐漸增大，轉(zhuǎn)子直徑隨定子直徑也相應(yīng)增大。

所述定子為一個整體，其進(jìn)氣端直徑大于排氣端直徑，即從進(jìn)氣端到排氣定子直徑逐漸減小，轉(zhuǎn)子直徑隨定子直徑也相應(yīng)減小。

所述定子分為兩部分，其中靠近進(jìn)氣端的部分直徑逐級增大，靠近排氣端的部分直徑逐級減小，定子的兩部分最大直徑相同，扣合到一起形成一完整定子，扣合處設(shè)有密封；所述的轉(zhuǎn)子直徑隨定子直徑的增大和減小也相應(yīng)的增大和減小。

所述的定子內(nèi)壁設(shè)置有至少一層階梯。

所述的定子內(nèi)壁設(shè)置有三層階梯。

所述轉(zhuǎn)子和定子內(nèi)壁之間的間隙為0.3mm---0.6mm。

本實用新型的有益效果：本實用新型采用定子內(nèi)壁階梯式設(shè)計，使得轉(zhuǎn)子和定子之間的間隙由直線的間隙，變成折線型，當(dāng)氣體沿著轉(zhuǎn)子和定子之間的間隙回返時，設(shè)置在定子內(nèi)壁的環(huán)形階梯能夠擋住回返的氣體，使其進(jìn)入轉(zhuǎn)子的牽引級溝槽內(nèi)，減少了氣體反流，增加了分子泵的極限壓力和氣體的壓縮比，另外，本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，制造成本低廉。

附圖說明

圖1是本實用新型實施例一的結(jié)構(gòu)圖。

圖2是本實用新型實施例二的結(jié)構(gòu)圖。

圖3是本實用新型實施例三的結(jié)構(gòu)圖。

具體實施方式

如圖1所示，一種折線間隙型牽引級，包括轉(zhuǎn)子1和定子2，定子2為圓筒狀，轉(zhuǎn)子1和定子2內(nèi)壁之間的間隙為0.5mm，定子2的內(nèi)壁上設(shè)置有環(huán)形階梯3，環(huán)形階梯為三層環(huán)形階梯；從進(jìn)氣端4到排氣端6，每層環(huán)形階梯的直徑依次增大，轉(zhuǎn)子1的直徑也相應(yīng)逐漸增大，每層環(huán)形階梯內(nèi)壁的直徑與其相對應(yīng)的轉(zhuǎn)子部分的最大直徑形成間隙配合，當(dāng)氣體沿著定子2與轉(zhuǎn)子1之間的間隙往進(jìn)氣端4回流，遇到環(huán)形階梯3時，回流的氣體被環(huán)形階梯3阻擋，并被帶入轉(zhuǎn)子1上的牽引級溝槽5，減少了氣體的反流，增加了分子泵的極限壓力和氣體的壓縮比。

實施例二

如圖2所示，一種折線間隙型牽引級，包括轉(zhuǎn)子1和定子2，定子2為圓筒狀，轉(zhuǎn)子1和定子2內(nèi)壁之間的間隙為0.5mm，定子2的內(nèi)壁上設(shè)置有環(huán)形階梯3，環(huán)形階梯為三層環(huán)形階梯；從進(jìn)氣端4到排氣端6，每層環(huán)形階梯的直徑依次減小，轉(zhuǎn)子1的直徑也相應(yīng)逐漸減小，每層環(huán)形階梯內(nèi)壁的直徑與其相對應(yīng)的轉(zhuǎn)子部分的最大直徑形成間隙配合，當(dāng)氣體沿著定子2與轉(zhuǎn)子1之間的間隙往進(jìn)氣端4回流，遇到環(huán)形階梯3時，回流的氣體被環(huán)形階梯3阻擋，并被帶入轉(zhuǎn)子1上的牽引級溝槽5，減少了氣體的反流，增加了分子泵的極限壓力和氣體的壓縮比。

實施例三

如圖3所示，一種折線間隙型牽引級，包括轉(zhuǎn)子1和定子2，定子2為圓筒狀，分為上下兩部分，上部分定子和下部分定子結(jié)合處采用密封圈進(jìn)行密封，轉(zhuǎn)子1和定子2內(nèi)壁之間的間隙為0.5mm，定子2的內(nèi)壁上設(shè)置有環(huán)形階梯3，環(huán)形階梯為三層環(huán)形階梯；從進(jìn)氣端4到排氣端6，定子2內(nèi)壁靠近進(jìn)氣端4的部分階梯直徑逐級增大，靠近排氣端6的部分階梯直徑逐級減小，轉(zhuǎn)子1的直徑也隨定子2內(nèi)壁上的階梯直徑項應(yīng)的先逐漸增大，然后逐漸減小每層環(huán)形階梯內(nèi)壁的直徑與其相對應(yīng)的轉(zhuǎn)子部分的最大直徑形成間隙配合，當(dāng)氣體沿著定子2與轉(zhuǎn)子1之間的間隙往進(jìn)氣端4回流，遇到環(huán)形階梯3時，回流的氣體被環(huán)形階梯3阻擋，并被帶入轉(zhuǎn)子1上的牽引級溝槽5，減少了氣體的反流，增加了分子泵的極限壓力和氣體的壓縮比。