[實用新型]一種大抽速抗大氣沖擊的分子泵轉子

有效

• 申請號: 201320578331.4
• 申請日: 2013-09-18
• 公開（公告）號: CN203488434U
• 公開（公告）日: 2014-03-19
• 發明（設計）人: 劉敏強;郁晉軍;董欣;于天化
• 申請（專利權）人: 北京北儀創新真空技術有限責任公司
• 主分類號: F04D29/32
• 分類號: F04D29/32
• 代理公司: 北京鑫浩聯德專利代理事務所(普通合伙) 11380
• 代理人: 呂愛萍

技術領域

本實用新型涉及一種轉子，尤其涉及一種用于分子泵的大抽速抗大氣沖擊的分子泵轉子。

背景技術

分子真空泵是在1911年由德國人蓋德(w·Gaede)首先發明的。其原理是靠高速運動的剛體表面傳遞給氣體分子以動量，使氣體分子在剛體表面的運動方向上產生定向流動，從而達到抽氣的目的。1958年，聯邦德國的W.貝克首次提出有實用價值的渦輪分子泵。渦輪分子泵主要由泵體、帶葉片的轉子(即動葉輪)、靜葉輪和驅動系統等組成。動葉輪外緣的線速度高達氣體分子熱運動的速度(一般為150～400米/秒)。單個葉輪的壓縮比很小，渦輪分子泵要由多個動葉輪和靜葉輪組成。動葉輪和靜葉輪交替排列。動、靜葉輪幾何尺寸基本相同，但葉片傾斜角相反。傾斜葉片的運動使氣體分子從進氣側穿過葉片到達排氣側的幾率，比從排氣側穿過葉片到達進氣側的幾率大得多。葉輪連續旋轉，氣體分子便不斷地由進氣側流向排氣側，從而產生抽氣作用。

蓋德牽引泵在分子流態下有很高的壓縮比，能抽除各種氣體和蒸汽，特別適于抽除較重的氣體，但存在抽速小的特點。渦輪分子泵則存在加工多級動靜葉片工藝復雜的特點。同時，由于葉片高速旋轉，動片與靜片的間隙很小，如果突然遭到大氣的沖擊，極易發生碎裂，造成整泵報廢。復合分子泵將渦輪轉子和牽引轉子串聯在一起，以獲得更優的綜合性能，但同時也繼承了渦輪轉子加工難度高，不耐沖擊的特點。

實用新型內容

本實用新型的目的在于克服現有技術中的不足，而提供一種大抽速抗大氣沖擊的分子泵轉子。

本實用新型所采用的技術方案：

一種大抽速抗大氣沖擊的分子泵轉子，包括轉子主體，轉子主體為中空筒體，其內部中心設置有轉軸安裝孔，其特征在于：所述的轉子主體頂端直徑大于底端直徑，在轉子主體的外表面挖設有螺旋形牽引級溝槽，牽引級溝槽的深度從上到下逐漸變淺；每相鄰兩個螺旋形牽引級溝槽之間的槽壁設置成葉片。

所述轉子主體頂端直徑比底端直徑大10-30mm。

所述葉片節距和葉片弦長的比值為1.3-1.5，轉子主體外表面上均勻挖設有3-8條相同的螺旋形牽引級溝槽。

所述轉子主體頂端牽引級溝槽的深度為50-70mm，底端牽引級溝槽的深度為2-6mm。

所述的葉片也呈螺旋形設置在轉子主體的外表面上，且葉片根部厚度大于頂部。

所述的轉子主體的上端口端面上均勻設置有上面動平衡配重孔，轉子主體外表面靠近下端均勻設置有下面動平衡配重孔。

本實用新型的有益效果：

1、本實用新型采用牽引級溝槽與分子泵轉子主體結合為一體的設計，實現了與復合分子泵相近似的特點，既獲得了高抽速，又獲得了較大的壓縮比，同時也大幅增加了強度，提高了抗大氣沖擊的能力。

2、本實用新型采用轉子主體頂端直徑大于底端直徑，使轉子頂端的葉片尺寸增大，即分子泵進氣端葉片尺寸增大，同時優化了轉子槽內壁的曲線，使轉子槽內壁曲線進一步內凹，從而提高了抽速，并減輕了轉子的重量，減小轉子對軸承的壓力。

3、本實用新型，取消了定片、隔環，不但降低了設備制作和安裝的復雜程度，也降低了成本。

4、本實用新型采用在轉子主體上挖設牽引級溝槽，相鄰的兩個牽引級溝槽之間的槽壁形成了葉片，由于直接加工葉片要求技術難度較高，加工槽的要求簡單，也降低了加工成本。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構圖。

圖2是本實用新型的剖視圖。

具體實施方式

如圖1、2所示，一種大抽速抗大氣沖擊的分子泵轉子，包括轉子主體1，轉子主體1為中空筒體，轉子主體頂端直徑比底端直徑大10-30mm，其內部中心設置有轉軸安裝孔4，在轉子主體的外表面挖設有螺旋形牽引級溝槽2，每相鄰兩個螺旋形溝槽之間的槽壁形成葉片3，設置葉片節距和葉片弦長的比值為1.4，在轉子主體表面挖設有5條相同的螺旋形牽引級溝槽，每條牽引級溝槽的深度從上到下逐漸變淺，轉子主體頂端牽引級溝槽的深度為50-70mm，底端牽引級溝槽的深度為2-6mm；葉片在轉子主體表面也呈螺旋形，且葉片根部厚度大于頂部，在轉子主體的上端口端面上均勻設置有上面動平衡配重孔5，轉子主體外表面靠近下端均勻設置有下面動平衡配重孔6。

本實用新型根據氣體的物理特性，采用牽引級溝槽與轉子主體結合為一體的設計，實現了與復合分子泵相近似的特點，既獲得了高抽速，又獲得了較大的壓縮比，同時也大幅增加了強度，提高了抗大氣沖擊的能力；另外，采用轉子主體頂端直徑大于底端直徑，使轉子頂端的葉片尺寸增大，即分子泵進氣端葉片尺寸增大，同時優化了轉子槽內壁的曲線，使轉子槽內壁曲線進一步內凹，從而提高了抽速，并減輕了轉子的重量，減小轉子對軸承的壓力。