[實(shí)用新型]一種對(duì)反應(yīng)爐爐蓋進(jìn)行升降和翻轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320577197.6
• 申請(qǐng)日: 2013-09-17
• 公開（公告）號(hào): CN203534191U
• 公開（公告）日: 2014-04-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 樊志濱;陳依新;王勇飛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京思捷愛普半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): F27D1/18
• 分類號(hào): F27D1/18;C23C16/00
• 代理公司: 北京思海天達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11203
• 代理人: 劉萍

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)設(shè)備領(lǐng)域，特別涉及到MOCVD反應(yīng)爐配套機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)

近年來(lái)，LED生產(chǎn)技術(shù)不斷進(jìn)步，生產(chǎn)成本不斷降低，亮度不斷提高。以其能耗低、壽命長(zhǎng)、無(wú)污染、體積小等優(yōu)點(diǎn)得以迅猛發(fā)展。LED在室內(nèi)外顯示屏、交通燈、照明市場(chǎng)得到廣泛的應(yīng)用。隨著LED應(yīng)用市場(chǎng)發(fā)展越來(lái)越迅速，下游廠商對(duì)上游LED芯片需求越來(lái)越大。這就使上游廠商對(duì)其生產(chǎn)效率及成本有了較高的要求。

LED是一種將電能轉(zhuǎn)化成光能的摻有雜質(zhì)的半導(dǎo)體固體器件，它的結(jié)構(gòu)主要是PN結(jié)芯片、電極和光學(xué)系統(tǒng)組成。LED的生產(chǎn)工藝比較復(fù)雜，一般要經(jīng)過(guò)外延片制作、氮?dú)夥庋b、外延生長(zhǎng)、芯片前工藝、研磨切割、點(diǎn)測(cè)分選、封裝等主要步驟。其中外延生長(zhǎng)決定了LED發(fā)光顏色、發(fā)光亮度以及可靠性，因此外延生長(zhǎng)所使用的設(shè)備MOCVD是LED生產(chǎn)中的核心設(shè)備，從而提高M(jìn)OCVD的生產(chǎn)效率亦是重中之重。

現(xiàn)在市場(chǎng)大多數(shù)的MOCVD設(shè)備，襯底片放置主要由兩種，一種是外延面向上放置，另一種則是向下放置。襯底片外延面向上放置類型的反應(yīng)爐，為了防止?fàn)t蓋底部附著制程時(shí)產(chǎn)生的顆粒物會(huì)在爐蓋下部安裝一塊石英板，此石英板是需要定期更換的，但是大多此類型設(shè)備的反應(yīng)爐爐蓋只能向上垂直開啟，或者傾斜開啟，傾斜角度小于45度，為設(shè)備維護(hù)人員拆卸、安裝石英板以及清理爐蓋下表面帶來(lái)很大不便，延長(zhǎng)了設(shè)備維護(hù)時(shí)間，因爐蓋下表面垂直向下或傾斜小于45度角，石英板在操作過(guò)程中還存在掉落損害風(fēng)險(xiǎn)。襯底片倒置類型的反應(yīng)爐，襯底片一般是倒裝在爐蓋下表面的，同樣，大多此類型設(shè)備的反應(yīng)爐爐蓋只能向上垂直開啟，或者傾斜開啟，傾斜角度小于45度，操作人員取片、裝片很不方便，耗費(fèi)時(shí)間，并且亦存在襯底片掉落的風(fēng)險(xiǎn)。兩種類型的反應(yīng)爐爐蓋開啟方式，都影響了設(shè)備的有效制程時(shí)間，降低了設(shè)備生產(chǎn)效率，而且存在成本損失的風(fēng)險(xiǎn)。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決由上述原因?qū)е碌纳a(chǎn)效率受到影響，降低成本損失風(fēng)險(xiǎn)，本實(shí)用新型提出了一種對(duì)反應(yīng)爐爐蓋進(jìn)行升降和翻轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)。

實(shí)現(xiàn)上述有益效果的技術(shù)方案為，一種對(duì)反應(yīng)爐爐蓋進(jìn)行升降和翻轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)，包括升降氣缸1、安裝在機(jī)罩2內(nèi)部的伺服電機(jī)3、蝸輪蝸桿減速機(jī)4，旋轉(zhuǎn)軸6通過(guò)聯(lián)軸器7與爐蓋8相連接；

所述的升降氣缸1安裝在爐體9一側(cè)，氣缸活塞桿上端連接機(jī)罩2，安裝在機(jī)罩2內(nèi)部的伺服電機(jī)3帶動(dòng)蝸輪蝸桿減速機(jī)4，蝸輪蝸桿減速機(jī)4的旋轉(zhuǎn)軸6通過(guò)聯(lián)軸器7與爐蓋8相連接；爐體9的兩側(cè)結(jié)構(gòu)為對(duì)稱布置結(jié)構(gòu)；

通過(guò)氣缸活塞桿的升降，機(jī)罩2、伺服電機(jī)3、蝸輪蝸桿減速機(jī)4連同爐蓋8進(jìn)行同時(shí)升降，并在伺服電機(jī)3帶動(dòng)下，通過(guò)蝸輪蝸桿減速機(jī)4，將爐蓋8進(jìn)行翻轉(zhuǎn)。

理論上，爐蓋可在零度至180度之間翻轉(zhuǎn)。同時(shí)，機(jī)罩和安裝在機(jī)罩外部的磁流體的作用是防止伺服電機(jī)和蝸輪蝸桿減速機(jī)在運(yùn)行過(guò)程中產(chǎn)生污染物而對(duì)已打開爐蓋的反應(yīng)爐內(nèi)部造成影響。

翻轉(zhuǎn)后，爐蓋下表面垂直向上或成仰角向上，操作者可以直接觀看到操作面，進(jìn)行石英板或襯底的更換工作，操作靈便，提高了生產(chǎn)效率，由于此時(shí)石英板或襯底位于上方，降低了其掉落損壞的風(fēng)險(xiǎn)。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)示意圖；

1.升降氣缸?????????????????2.機(jī)罩?????????????3.伺服電機(jī)

4.蝸輪蝸桿減速機(jī)???????????5.磁流體???????????6.旋轉(zhuǎn)軸

7.聯(lián)軸器???????????????????8.爐蓋?????????????9.爐體

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步說(shuō)明。

結(jié)合圖1，本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式。一種對(duì)反應(yīng)爐爐蓋進(jìn)行升降和翻轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)，包括升降氣缸1、安裝在機(jī)罩2內(nèi)部的伺服電機(jī)3、蝸輪蝸桿減速機(jī)4，安裝在機(jī)罩4外部的磁流體5，旋轉(zhuǎn)軸6通過(guò)聯(lián)軸器7與爐蓋8相連接。

本實(shí)施例中，所述的升降氣缸1安裝在爐體9旁，氣缸活塞桿上端連接機(jī)罩2，通過(guò)氣缸活塞桿的升降，對(duì)機(jī)罩2、伺服電機(jī)3、蝸輪蝸桿減速機(jī)4連同爐蓋8進(jìn)行同時(shí)升降，并在伺服電機(jī)3帶動(dòng)下，通過(guò)蝸輪蝸桿減速機(jī)4，將爐蓋8進(jìn)行翻轉(zhuǎn)。