[實用新型]多晶硅生產廢氣淋洗廢水處理裝置

有效

• 申請號: 201320573859.2
• 申請日: 2013-09-16
• 公開（公告）號: CN203899432U
• 公開（公告）日: 2014-10-29
• 發明（設計）人: 唐明元;王忠群;侯剛;王紹祖;周文帥;涂夏明;杜娜
• 申請（專利權）人: 陜西天宏硅材料有限責任公司
• 主分類號: B01D53/78
• 分類號: B01D53/78;B01D53/96;B01D53/70
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及多晶硅制造技術領域，具體涉及多晶硅生產廢氣淋洗廢水處理裝置。

背景技術

多晶硅是制造集成電路、光伏太陽能電池等產品的關鍵基礎材料，是發展信息產業和光伏新能源產業的重要基石，但多晶硅在生產過程中不可避免的要產生廢氣、廢水排放，而由此產生嚴重的環境污染問題，這已成為多晶硅產業能否生存與健康發展的關鍵之一。

廢氣處理項目分別有干法燃燒線和濕法淋洗線兩套系統，其中濕法淋洗系統是全國多晶硅行業普遍采用的廢氣處理方法，具有投資小、運行成本低、操作簡單等優點。

濕法淋洗系統采用NaOH溶液來淋洗多晶硅生產中排放的含氯硅烷廢氣，初始堿濃度控制在15～22%，隨著氯硅烷的不斷水解、中和反應、堿隨之消耗濃度下降。當NaOH濃度降到4～5%時，池內會產生大量白色沉渣，導致廢氣淋洗無法繼續進行，必須更換新的淋洗液。此時更換的廢淋洗液具有較高的堿性及大量的硅酸鹽，如壓濾后直接排放，會產生大量白色沉渣，可能導致嚴重的環境污染事故。因此，廢氣處理濕法線產生的廢淋洗液，需要進一步處理才能達標排放。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是提供多晶硅生產廢氣淋洗廢水處理裝置，占地面積小，處理污水能力強，處理程度高，經處理后可將淋洗廢堿水達標排放，做到對環境完全無害，同時還較好的利用了生產過程產生的酸性廢水，節約了生產成本。

為達到上述目的，本實用新型的技術方案如下：

多晶硅生產廢氣淋洗廢水處理裝置，包括：

一緩沖罐，用于緩存多晶硅生產中排放的含氯硅烷廢氣，

一淋洗塔，與緩沖罐連接，所述淋洗塔內噴淋堿液，

一污泥池，存儲安全循環池排出的淋洗廢堿水，所述污泥池內設置一攪拌裝置，不斷攪拌污泥池，

一第一泵體，所述第一泵體連接污泥池，將污泥池內的物質打入壓濾機進行一次壓濾，

一一次壓濾機，所述一次壓濾機連接第一泵體，壓濾出來的濾渣外運，上清液放置中間水池內。

在本實用新型的一個優選實施例中，所述淋洗塔和污泥池之間還設置一安全循環池，安全循環池內的淋洗液通過一回流管道連接淋洗塔循環使用。

在本實用新型的一個優選實施例中，淋洗塔內噴淋堿液質量分數為5～22%。

在本實用新型的一個優選實施例中，還包括一加酸造渣裝置，所述加酸造渣裝置通過管道連接一鹽酸注入裝置，經鹽酸注入裝置注入鹽酸，將加酸造渣裝置中的廢水PH調節至6—9，再進行第二次壓濾，，最終將產生的濾渣外運和將上清液外排。

通過上述技術方案，本實用新型的有益效果是：

本實用新型中的鹽酸可以利用廢氣處理干法線產生的廢酸中和廢堿液，達到以廢制廢的效果；壓濾的濾渣（硅酸鹽）呈中性，可以做水泥、鋪路的原材料；壓濾的上清液為高鹽溶液，純度高，可用來電解氫氣、氯氣、液堿；

具有結構簡單，使用方便的特點，節約了生產成本。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實用新型的工作原理圖。

具體實施方式

為了使本實用新型實現的技術手段、創作特征、達成目的與功效易于明白了解，下面結合具體圖示，進一步闡述本實用新型。

參照圖1，多晶硅生產廢氣淋洗廢水處理裝置，包括：

一緩沖罐100，用于緩存多晶硅生產中排放的含氯硅烷廢氣，

一淋洗塔200，與緩沖罐100連接，所述淋洗塔內噴淋堿液，水解中和逆流接觸的含氯硅烷廢氣，含氯硅烷廢氣經淋洗塔200噴淋達標后高空排放，淋洗液則進入安全循環池300循環使用。如果安全循環池300內的堿液質量分數大于5%，則通過回流管道流入淋洗塔200內繼續噴淋使用；如果安全循環池300內的堿液質量分數小于5%，則通過管道排至污泥池400，

一污泥池400，存儲安全循環池300排出的淋洗廢堿水，所述污泥池400內設置一攪拌裝置，不斷攪拌污泥池，

一第一泵體，所述第一泵體連接污泥池400，將污泥池400內的淋洗廢堿水打入壓濾機進行第一次壓濾，

一一次壓濾機，所述一次壓濾機連接第一泵體，壓濾出來的濾渣401外運，上清液402放置中間水池403內。