[實用新型]硅片清洗機用水點水質監控報警裝置有效
| 申請號： | 201320569500.8 | 申請日： | 2013-09-13 |
| 公開（公告）號： | CN203422338U | 公開（公告）日： | 2014-02-05 |
| 發明（設計）人： | 陳前兆;徐昌華;史才成;孟憲亮;郝子龍;鄭銀先;華貴俊;高超 | 申請（專利權）人： | 江蘇晶鼎電子材料有限公司 |
| 主分類號： | G01N27/08 | 分類號： | G01N27/08 |
| 代理公司： | 淮安市科文知識產權事務所 32223 | 代理人： | 謝觀素 |
| 地址： | 223700 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 硅片 清洗 機用水點 水質 監控 報警裝置 | ||
【權利要求書】：
1.?硅片清洗機用水點水質監控報警裝置，包括清洗機的機殼（1），進水管（2）貫穿機殼（1）的頂部進入機體內部供水，其特征在于：所述進水管（2）的側壁上設有一個旁通凸臺（3），電阻率測試儀的探針（4）插入所述旁通凸臺（3）內固定，所述電阻率測試儀的顯示面板（41）固定在機殼（1）的側壁上。
2.?如權利要求1所述的硅片清洗機用水點水質監控報警裝置，其特征在于：所述旁通凸臺（3）位于所述機殼（1）頂部上方5-10cm處。
3.?如權利要求1所述的硅片清洗機用水點水質監控報警裝置，其特征在于：所述電阻率測試儀外接有聲光報警器（5），所述聲光報警器（5）固定在機殼（1）的頂部。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于江蘇晶鼎電子材料有限公司，未經江蘇晶鼎電子材料有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201320569500.8/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：集成視頻三合一防雷器
- 下一篇：一種門尼粘度儀
