[實用新型]一種用于真空鍍膜的鎢舟或鉬舟

有效

• 申請號: 201320568682.7
• 申請日: 2013-09-13
• 公開（公告）號: CN203546137U
• 公開（公告）日: 2014-04-16
• 發明（設計）人: 王小淼;張玉貴
• 申請（專利權）人: 洛陽愛科麥鎢鉬制品有限公司
• 主分類號: C23C14/26
• 分類號: C23C14/26
• 代理公司: 洛陽公信知識產權事務所(普通合伙) 41120
• 代理人: 苗強

技術領域

本實用新型涉及真空鍍膜領域，具體的說是一種用于真空鍍膜的鎢舟或鉬舟。

背景技術

鎢、鉬熔點高，電性能好，抗熱及抗腐蝕性能優越，被廣泛應用于冶金，電子、宇航、半導體、電光源和化工等行業。選用高純度的鎢材或鉬材，用先進的生產自動線生產出的鎢舟或鉬舟作為特殊而有效的舟皿，被廣泛的用于真空鍍膜行業的金屬蒸鍍。而在真空鍍膜過程中，需要很高溫度才會使金屬原料從固體狀態蒸發汽化。鎢舟或鉬舟應用于真空鍍膜中，是將鎢舟或鉬舟安裝在兩個電極中間，在鎢舟或鉬舟的中央加上蒸發源，再緩緩給電極通電，電流通過鎢舟或鉬舟，鎢舟或鉬舟通電發熱，使高熔點的鎢舟或鉬舟產生熱量，再熱傳導給鍍膜材料，當鎢舟或鉬舟的熱量高于鍍膜材料熔點的時候，材料就蒸發，此方法操作方便，結構簡單，成本低廉。但是現有的鎢舟或鉬舟中熔化的金屬原料，其熔融狀態的蒸發源上液面為拱起的弧面，在真空鍍膜時，易造成所形成的鍍膜的厚度不均勻。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是克服現有的鎢舟或鉬舟在薄膜制備中，易造成所形成的鍍膜的厚度不均勻的問題，提供一種用于真空鍍膜的鎢舟或鉬舟。

本實用新型為解決上述問題所采用的技術方案為：一種用于真空鍍膜的鎢舟或鉬舟，包括一體結構的舟皿本體，所述舟皿本體包括內腔為四棱錐形的槽體，所述槽體中兩個相對的側板的頂端均設有階梯狀的延伸板，另外兩個相對的側板的兩端的內表面均呈波紋狀。

所述槽體中兩個相對側板的兩端設置的波紋狀的內表面均包括一個波峰和一個波谷。

有益效果：本實用新型中，在舟皿本體的槽體中兩個相對側板的兩端設置的波紋狀的內表面，能夠避免其中盛放的熔融態的蒸發源的上液面形成弧形面，使槽體中盛放的熔融態的蒸發源上表面鋪展更均勻、平整，防止所形成的鍍膜的厚度不均勻。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖；

圖2為圖1中沿A-A線的剖視圖。

附圖標記：1、槽體，2、延伸板。

具體實施方式

如圖1和圖2所示，一種用于真空鍍膜的鎢舟或鉬舟，包括一體結構的舟皿本體，所述舟皿本體包括內腔為四棱錐形的槽體1，所述槽體1中兩個相對的側板的頂端均設有階梯狀的延伸板2，另外兩個相對的側板的兩端的內表面均呈波紋狀。

本實用新型在具體的實施時，根據舟皿本體的規格大小，可以槽體1中兩個相對側板的兩端設置的波紋狀的內表面中設置適宜的波峰和波谷數量，優選的，該槽體1中兩個相對側板的兩端設置的波紋狀的內表面均包括一個波峰和一個波谷，而且，側板兩端設置的波紋形狀是從側板的上端面收攏到四棱錐形槽體底部棱角處，能夠使槽體1中盛放的熔融態的蒸發源上表面鋪展更均勻、平整，防止所形成的鍍膜的厚度不均勻。