[實用新型]一種乙硅烷液化鋼瓶充填裝置

有效

• 申請號: 201320559464.7
• 申請日: 2013-09-10
• 公開（公告）號: CN203533192U
• 公開（公告）日: 2014-04-09
• 發明（設計）人: 鄭春寧;何波;徐昕
• 申請（專利權）人: 南京亞格泰新能源材料有限公司
• 主分類號: F17C5/04
• 分類號: F17C5/04
• 代理公司: 南京眾聯專利代理有限公司 32206
• 代理人: 顧進

技術領域

本實用新型涉及鋼瓶的充填裝置領域，尤其涉及一種乙硅烷液化鋼瓶的充填裝置。?

背景技術

乙硅烷分子式：Si₂H₆，分子量：62.2，熔點：-132.5℃，沸點：-14.15℃（1?atm?時）。乙硅烷（Si₂H₆）在常溫常壓下為無色透明的氣體，遇空氣可自燃，在常溫下其飽和蒸汽壓為0.5MPa，高純度99.995%的乙硅烷應用于超大規模集成電路20納米以下的高端芯片制造。目前全球僅美國、日本和韓國三家生產企業，國內為空白。根據有關資料，國內對類似特種氣體通常采用壓縮機增壓充裝技術，設備的數量多，閥門多，管道多，接頭多，出現故障率較高，泄漏引發的安全事故的幾率也相應增大。?

實用新型內容

針對上述存在的問題，本實用新型目的在于提供簡單實用的乙硅烷液化鋼瓶的充填裝置。?

為了達到上述目的，本實用新型采用的技術方案如下：一種乙硅烷液化鋼瓶充填裝置，所述的充填裝置為密封的罐體結構，包括密封殼體，密封蓋和制冷機，所述的制冷機與密封殼體側方的通氣孔相連接，所述密封殼體的底部設有電子稱重板，所述的電子稱重板上設有兩個鋼瓶固定架，所述密封殼體的通氣孔的對側面上設有轉接閥門。?

作為本實用新型的一種改進，所述的轉接閥門的頂部設有螺紋的導氣孔，所述導氣孔的外側設有帶密封圈的固定鋼環結構；通過螺紋結構穩定連接鋼瓶結構，通過帶有密封圈的固定鋼環結構密封固定連接部位，防止乙硅烷的泄露，密封效果好。?

作為本實用新型的一種改進，所述的密封殼體上設有電子控制屏，所述的電子控制屏經線路連接在電子稱重板上，通過電子顯示屏可以直觀的顯示鋼瓶內充填的乙硅烷的質量，能夠根據客戶不同的充裝重量要求，方便隨時調整。?

作為本實用新型的一種改進，所述密封殼體和制冷機的底部設有滾輪結構，通過滾輪結構可以方便移動和搬運該套裝置，快捷方便。?

本實用新型的優點在于：本實用新型的利用乙硅烷低溫液化的物理特性，通過制冷機調節充填裝置內的溫度環境，簡化了工藝路線，無需實用增壓壓縮機，減少了設備數量，閥門數量和管道接口數量，提高了安全性，節約了成本，能夠根據客戶不同的充裝重量要求，隨時方便調整。?

附圖說明

圖1為本實用新型結構簡圖；?

其中，1?密封殼體，2?轉接閥門，3?密封蓋，4?鋼瓶固定架，5?電子稱重板，6?滾輪結構，7?制冷機，8?電子控制屏，9?通氣孔，10導氣孔，11?固定鋼環結構。

具體實施方式

下面結合附圖說明和具體實施方式對本實用新型作進一步詳細的描述。?

實施例1：如圖1所示，一種乙硅烷液化鋼瓶充填裝置，所述的充填裝置為密封的罐體結構，包括密封殼體1，密封蓋3和制冷機7，所述的制冷機7與密封殼體1側方的通氣孔9相連接，所述密封殼體1的底部設有電子稱重板5，所述的電子稱重板5上設有兩個鋼瓶固定架4，所述密封殼體的通氣孔的對側面上設有轉接閥門2。通過制冷機7將密封殼體1內的溫度調節到-20℃，將儲存在中間罐中的氣相乙硅烷，通過管道直接充入密封殼體內的包裝鋼瓶中，操作簡單方便。?

實施例2：如圖1所示，所述的轉接閥門2的頂部設有螺紋的導氣孔10，所述導氣孔10的外側設有帶密封圈的固定鋼環結構11；通過螺紋結構穩定連接鋼瓶結構，通過帶有密封圈的固定鋼環結構11密封固定連接部位，防止乙硅烷的泄露，密封效果好。?

實施例3：如圖1所示，所述的密封殼體1上設有電子控制屏8，所述的電子控制屏8經線路連接在電子稱重板5上，通過電子顯示屏8可以直觀的顯示鋼瓶內充填的乙硅烷的質量，能夠根據客戶不同的充裝重量要求，方便隨時調整。?

實施例4：如圖1所示，所述密封殼體1和制冷機7的底部設有滾輪結構6，通過滾輪結構6可以方便移動和搬運該套裝置，快捷方便。?

需要說明的是，上述僅僅是本實用新型的較佳實施例，并非用來限定本實用新型的保護范圍，在上述實施例的基礎上所作出的等同變換均屬于本實用新型的保護范圍。?