[實用新型]廢氣處理裝置

有效

• 申請號: 201320559277.9
• 申請日: 2013-09-10
• 公開（公告）號: CN203469752U
• 公開（公告）日: 2014-03-12
• 發明（設計）人: 陳建榮;王新陽;趙海標
• 申請（專利權）人: 冠銓（山東）光電科技有限公司
• 主分類號: B01D53/00
• 分類號: B01D53/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

?本實用新型屬于晶體生長設備技術領域，更具體的說是一種廢氣處理裝置。

背景技術

目前，電子產業領域排放的廢氣中，有部分含有H2和NH3等高危氣體，現有技術的處理方式一般是先經廢氣處理機（Gas?Scrubber）初步處理，再由專業處理設備處理后排放至大氣中，處理過的廢氣中H2和NH3殘余量很低，可經由酸堿排管道直接排放，但當處理設備停機保養或出現異常時，廢氣就無法處理，未經處理廢氣中H2和NH3含量較高，經切換旁路排至酸堿排管道時，由于管道材質及密封性問題，外界環境中空氣極易進入管道，與氫氣混合后極有可能引起燃燒，因此，此種管道設計存在很大的安全隱患。

發明內容

為了解決上述問題，本實用新型提供了一種使用安全、廢氣處理過程中不會引起燃燒的廢氣處理裝置，其具體方案為：所述的廢氣處理裝置由酸堿管道、輔助管道、終端處理池、廢氣進口、酸堿三通閥、轉換三通閥、預處理池組成，其特征是酸堿管道與輔助管道平行設置，酸堿管道的一端與終端處理池相連接，酸堿管道的另一端與酸堿三通閥相連接，輔助管道的一端與終端處理池相連接，輔助管道的另一端與轉換三通閥相連接，酸堿三通閥的上端設置廢氣進口，轉換三通閥的下端設置預處理池。

本實用新型所述的酸堿三通閥、轉換三通閥，其特征在于酸堿三通閥、轉換三通閥通過管道相連接，管道材質采用SUS304不銹鋼。

本實用新型的有益效果是廢氣處理裝置使用安全，廢氣處理過程中不會引起燃燒。

附圖說明

附圖1是本實用新型的結構示意圖；附圖1中：

1.酸堿管道，2.輔助管道，3.終端處理池，4.廢氣進口，5.酸堿三通閥，6.轉換三通閥，7.預處理池。

具體實施方式

結合附圖1對本實用新型進一步詳細描述，以便公眾更好地掌握本實用新型的實施方法，本實用新型具體的實施方案為：所述的廢氣處理裝置由酸堿管道1、輔助管道2、終端處理池3、廢氣進口4、酸堿三通閥5、轉換三通閥6、預處理池7組成，其特征是酸堿管道1與輔助管道2平行設置，酸堿管道1的一端與終端處理池3相連接，酸堿管道1的另一端與酸堿三通閥5相連接，輔助管道2的一端與終端處理池3相連接，輔助管道2的另一端與轉換三通閥6相連接，酸堿三通閥5的上端設置廢氣進口4，轉換三通閥6的下端設置預處理池7。

本實用新型所述的酸堿三通閥5、轉換三通閥6，其特征在于酸堿三通閥5、轉換三通閥6通過管道相連接，管道材質采用SUS304不銹鋼。

本實用新型的有益效果是廢氣處理裝置使用安全，廢氣處理過程中不會引起燃燒。