[實用新型]LED外延片清洗水槽

有效

• 申請號: 201320559269.4
• 申請日: 2013-09-10
• 公開（公告）號: CN203470387U
• 公開（公告）日: 2014-03-12
• 發明（設計）人: 王新陽;陳建榮;趙海標
• 申請（專利權）人: 冠銓（山東）光電科技有限公司
• 主分類號: B08B3/04
• 分類號: B08B3/04;B08B15/04;H01L33/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

?本實用新型屬于晶體生長設備技術領域，更具體的說是一種LED外延片清洗水槽。

背景技術

LED外延片生產過程中，需要進行大量的清洗作業，現有技術的LED外延片清洗設備操作不方便，用水量大，清洗作業過程中，需要使用揮發性及刺激性清洗劑，作業環境差，對操作者容易產生身體危害，有損操作者的身體健康，而且生產成本較高，產品質量也不穩定。

發明內容

為了解決上述問題，本實用新型提供了一種用水量小、操作方便、作業環境較好的LED外延片清洗水槽，其具體方案為：所述的LED外延片清洗水槽由排風柜、水槽體、排水閥門、排水管、支架組成，其特征是支架的上端設置排風柜，支架的中部設置水槽體，水槽體的下端設置排水閥門，支架的下部設置排水管。

本實用新型所述的水槽體，其特征在于水槽體的材質采用聚丙烯，具有優良的抗腐蝕、耐銹蝕、耐高溫特性，水槽體既可進行快速清洗，亦可經受長時間浸泡作業。

本實用新型所述的排水閥門，其特征在于排水閥門采用電磁閥開關控制，采用按鍵式操作，按鍵的一側設置信號燈，排水閥門關閉，信燈號滅掉，按下供水鍵，信燈號亮起，方便快捷。

本實用新型的有益效果是LED外延片清洗水槽使用水量小，操作方便，作業環境較好，生產成本較低，產品質量穩定。

附圖說明

附圖1是本實用新型的結構示意圖；附圖1中：

1.?排風柜，2.?水槽體，3.?排水閥門，4.?排水管，5.?支架。

具體實施方式

結合附圖1對本實用新型進一步詳細描述，以便公眾更好地掌握本實用新型的實施方法，本實用新型具體的實施方案為：所述的LED外延片清洗水槽由排風柜1、水槽體2、排水閥門3、排水管4、支架5組成，其特征是支架5的上端設置排風柜1，支架5的中部設置水槽體2，水槽體2的下端設置排水閥門3，支架5的下部設置排水管4。

本實用新型所述的水槽體2，其特征在于水槽體2的材質采用聚丙烯，具有優良的抗腐蝕、耐銹蝕、耐高溫特性，水槽體2既可進行快速清洗，亦可經受長時間浸泡作業。

本實用新型所述的排水閥門3，其特征在于排水閥門3采用電磁閥開關控制，采用按鍵式操作，按鍵的一側設置信號燈，排水閥門關閉，信燈號滅掉，按下供水鍵，信燈號亮起，方便快捷。

本實用新型的有益效果是LED外延片清洗水槽使用水量小，操作方便，作業環境較好，生產成本較低，產品質量穩定。