[實用新型]雙芯過濾裝置

有效

• 申請號: 201320559268.X
• 申請日: 2013-09-10
• 公開（公告）號: CN203469635U
• 公開（公告）日: 2014-03-12
• 發明（設計）人: 王超;趙海標;張繼友
• 申請（專利權）人: 冠銓（山東）光電科技有限公司
• 主分類號: B01D35/12
• 分類號: B01D35/12
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

?本實用新型屬于晶體生長設備技術領域，更具體的說是一種雙芯過濾裝置。

背景技術

目前，配合MOCVD的水路過濾器為Y型過濾器，濾芯為圓筒形網篩，與水路直接連接，在水路過濾器出現異常需要維修或更換濾芯時，MOCVD設備必須停機，浪費生產時間，降低了生產效率，增加了生產成本，而且常常影響產品質量，導致產品質量不穩定。

發明內容

為了解決上述問題，本實用新型提供了一種維修或更換濾芯無需停機、可有效提高生產效率、降低生產成本的雙芯過濾裝置，其具體方案為：所述的雙芯過濾裝置由輔水閥、主水閥、主過濾器、后端水閥、輔過濾器組成，其特征是主過濾器的前端設置主水閥，主過濾器的后端設置后端水閥，輔過濾器與主過濾器并聯設置，輔過濾器的前端設置輔水閥。

本實用新型所述的主過濾器，其特征在于主過濾器的殼體采用不銹鋼，主過濾器的濾芯采用陶瓷濾芯，過濾精度為0.05μm。

本實用新型所述的輔過濾器，其特征在于輔過濾器的殼體采用不銹鋼，輔過濾器的濾芯采用陶瓷濾芯，過濾精度為0.05μm。

本實用新型的有益效果是雙芯過濾裝置在維修或更換濾芯無需停機，可有效提高生產效率，降低生產成本。

附圖說明

附圖1是本實用新型的結構示意圖；附圖1中：

1.輔水閥，2.主水閥，3.主過濾器，4.后端水閥，5.輔過濾器。

具體實施方式

結合附圖1對本實用新型進一步詳細描述，以便公眾更好地掌握本實用新型的實施方法，本實用新型具體的實施方案為：所述的雙芯過濾裝置由輔水閥1、主水閥2、主過濾器3、后端水閥4、輔過濾器5組成，其特征是主過濾器3的前端設置主水閥2，主過濾器3的后端設置后端水閥4，輔過濾器5與主過濾器3并聯設置，輔過濾器的5前端設置輔水閥1。

本實用新型所述的主過濾器3，其特征在于主過濾器3的殼體采用不銹鋼，主過濾器3的濾芯采用陶瓷濾芯，過濾精度為0.05μm。

本實用新型所述的輔過濾器5，其特征在于輔過濾器5的殼體采用不銹鋼，輔過濾器5的濾芯采用陶瓷濾芯，過濾精度為0.05μm。

本實用新型的有益效果是雙芯過濾裝置在維修或更換濾芯無需停機，可有效提高生產效率，降低生產成本。