[實用新型]低量程濺射薄膜型測力傳感器有效
| 申請號： | 201320558902.8 | 申請日： | 2013-09-09 |
| 公開（公告）號： | CN203490009U | 公開（公告）日： | 2014-03-19 |
| 發明（設計）人： | 黎明誠;戚龍 | 申請（專利權）人： | 陜西電器研究所 |
| 主分類號： | G01L1/22 | 分類號： | G01L1/22 |
| 代理公司： | 西安文盛專利代理有限公司 61100 | 代理人： | 李中群 |
| 地址： | 710025 陜西省*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 量程 濺射 薄膜 測力 傳感器 | ||
1.一種低量程濺射薄膜型測力傳感器，其特征在于：包括彈性體(1)、底座(2)、蓋板(3)和連接螺桿(4)，所述的彈性體(1)的中部為薄片，所述的薄片上濺射有薄膜電阻應變敏感單元(7)；所述的底座(2)中心為凹陷結構，底座(2)和彈性體(1)固為一體，且彈性體(1)中部可在底座(2)的凹陷處產生形變；所述連接螺桿(4)的一端固定在彈性體(1)上，另一端作為拉力或壓力的一個施力端。?
2.根據權利要求1所述的低量程濺射薄膜型測力傳感器，其特征在于：所述的蓋板(3)中心設置有通孔，所述的連接螺桿(4)穿過蓋板(3)中心的通孔，其一端固定在彈性體(1)上，另一端作為拉力或壓力的一個施力端；所述底座(2)的外端中心設置有延長桿(8)，并作為拉力或壓力的另一個施力端。?
3.根據權利要求1所述的低量程濺射薄膜型測力傳感器，其特征在于：所述的底座(2)中心設置有通孔，所述的連接螺桿(4)穿過底座(2)中心的通孔裝入彈性體(1)中，連接螺桿(4)的外端作為拉力或壓力的一個施力端；所述蓋板(3)上均布有螺紋孔，可用于固定施力部件，并作為拉力或壓力的另一個施力端。?
4.根據權利要求1或2或3所述的低量程濺射薄膜型測力傳感器，其特征在于：所述的連接螺桿(4)與彈性體(1)的固定端設置有鎖緊螺母(5)。?
5.根據權利要求1或2或3所述的低量程濺射薄膜型測力傳感?器，其特征在于：所述彈性體(1)的中部為三個對稱結構的彈性梁(9)，所述的彈性梁(9)呈中心對稱結構，一端設置在彈性體(1)中心，另一端設置在彈性體(1)的外周，在彈性梁的表面濺射有薄膜電阻應變敏感單元(7)。?
6.根據權利要求5所述的低量程濺射薄膜型測力傳感器，其特征在于：所述的薄膜電阻應變敏感單元(7)由內層的氧化硅介質膜和外層的鎳鉻合金膜組成。?
7.根據權利要求5所述的低量程濺射薄膜型測力傳感器，其特征在于：所述的彈性梁(9)的寬度為1mm～3mm，厚度為0.3mm～1.0mm。?
8.根據權利要求5所述的低量程濺射薄膜型測力傳感器，其特征在于：所述的彈性梁(9)的寬為1mm、2mm或3mm，厚度為0.3mm、0.6mm或1mm。?
9.根據權利要求1或2或3所述的低量程濺射薄膜型測力傳感器，其特征在于：所述的底座(1)和彈性體(1)通過激光焊接在一起。?
10.根據權利要求或2或3所述的低量程濺射薄膜型測力傳感器，其特征在于：所述的彈性體(1)、底座(2)、蓋板(3)、連接螺桿(4)和鎖緊螺母(5)的制作材料均為17-4PH不銹鋼。?
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