[實用新型]調節清洗刷壓力的裝置有效
| 申請號： | 201320558215.6 | 申請日： | 2013-09-09 |
| 公開（公告）號： | CN203484361U | 公開（公告）日： | 2014-03-19 |
| 發明（設計）人： | 唐強;錢繼君 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司 |
| 主分類號： | B08B1/04 | 分類號： | B08B1/04 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 100176 北京市大興區*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 調節 洗刷 壓力 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種調節清洗刷壓力的裝置，用于調節清洗刷對半導體晶圓表面的壓力，其特征在于，所述裝置包括：
控制系統、壓力轉換器、氣壓閥、氣體管路、氣缸、清洗刷以及皮帶；其中，所述壓力轉換器與所述氣壓閥通過氣體管路連接，所述壓力轉換器與所述控制系統信號連接；所述氣缸與所述氣壓閥通過氣體管路連接；所述清洗刷與所述氣缸通過皮帶連接。
2.如權利要求1所述的調節清洗刷壓力的裝置，其特征在于，所述裝置還包括壓力調節器和電磁閥，所述壓力調節器和電磁閥均設置在氣體管路上，所述電磁閥與所述控制系統信號連接。
3.如權利要求1所述的調節清洗刷壓力的裝置，其特征在于，所述氣缸和清洗刷均為2個。
4.如權利要求3所述的調節清洗刷壓力的裝置，其特征在于，所述皮帶為4根。
5.如權利要求4所述的調節清洗刷壓力的裝置，其特征在于，所述氣缸的兩端均設有拉伸臂，所述皮帶一端與所述拉伸臂連接。
6.如權利要求5所述的調節清洗刷壓力的裝置，其特征在于，所述清洗刷兩端均設有滾動軸，所述皮帶的另一端與所述滾動軸連接。
7.如權利要求3所述的調節清洗刷壓力的裝置，其特征在于，所述半導體晶圓放置在所述清洗刷之間。
8.如權利要求1所述的調節清洗刷壓力的裝置，其特征在于，所述清洗刷表面設有若干凸點。
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