[實用新型]車燈玻璃連續鍍膜裝置

有效

• 申請號: 201320554801.3
• 申請日: 2013-09-06
• 公開（公告）號: CN203462126U
• 公開（公告）日: 2014-03-05
• 發明（設計）人: 朱建明
• 申請（專利權）人: 肇慶市科潤真空設備有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/10
• 代理公司: 廣州市華學知識產權代理有限公司 44245
• 代理人: 謝靜娜;裘暉

1.車燈玻璃連續鍍膜裝置，其特征在于，包括呈直線式連續排列的多個真空室，第一個真空室的入口處、最后一個真空室的出口處以及任意相鄰的兩個真空室之間的連接處分別設有真空插板閥，各個真空室分別外接抽真空機構；第一個真空室的入口端設有前旋轉臺，最后一個真空室的出口端設有后旋轉臺，前旋轉臺與后旋轉臺之間通過輸送帶連接，前旋轉臺、多個真空室和后旋轉臺之間形成連續式的循環系統。?

2.根據權利要求1所述的車燈玻璃連續鍍膜裝置，其特征在于，按照玻璃工件的輸送方向，所述多個真空室包括依次連接的前粗抽室、離子清洗室、前精抽室、主鍍膜室、保護層鍍膜室、后精抽室和后粗抽室；?

前粗抽室的入口處設置第一真空插板閥，前粗抽室與離子清洗室的連接處設置第二真空插板閥，離子清洗室與前精抽室的連接處設置第三真空插板閥，前精抽室與主鍍膜室的連接處設置第四真空插板閥，主鍍膜室與保護層鍍膜室的連接處設置第五真空插板閥，保護層鍍膜室與后精抽室的連接處設置第六真空插板閥，后精抽室與后粗抽室的連接處設置第七真空插板閥，后粗抽室的出口處設置第八真空插板閥；?

前粗抽室外接第一抽真空機構，離子清洗室和后精抽室分別外接第二抽真空機構，前精抽室、主鍍膜室和保護層鍍膜室分別外接第三抽真空機構，后粗抽室外接第四抽真空機構；離子清洗室、前精抽室、主鍍膜室、保護層鍍膜室和后精抽室分別設有獨立的擴散泵，并通過擴散泵外接相應的抽真空機構。?

3.根據權利要求2所述的車燈玻璃連續鍍膜裝置，其特征在于，所述主鍍膜室內設有旋轉式的磁控濺射靶。?

4.根據權利要求1所述的車燈玻璃連續鍍膜裝置，其特征在于，所述前旋轉臺呈圓形結構，前旋轉臺的圓周方向上均勻分布有多個工件架工位；后旋轉臺的結構與前旋轉臺相同；前旋轉臺上設有上件工位，后旋轉臺上設有卸件工位。?

5.根據權利要求1所述的車燈玻璃連續鍍膜裝置，其特征在于，所述真空插板閥包括閥板、閥板開關汽缸和閥板鎖緊機構，兩個真空室的工件通孔之間為連接通道，閥板設于連接通道內，閥板開關汽缸與閥板外側面連接，閥板鎖緊機構與閥板板面連接；連接通道內設有閥板運動通道，閥板運動通道貼緊于其中一個真空室的工件通孔，閥板設于閥板運動通道內。?

6.根據權利要求5所述的車燈玻璃連續鍍膜裝置，其特征在于，所述閥板開關汽缸設于閥板運動通道外端，閥板開關汽缸的活塞末端伸入閥板運動通道，且閥板開關汽缸的活塞末端與閥板外側面連接；閥板處于關閉狀態時，閥板一側的板面封住相應真空室的工件通孔，閥板另一側的板面與閥板鎖緊機構連接。?

7.根據權利要求5所述的車燈玻璃連續鍍膜裝置，其特征在于，所述閥板鎖緊機構有兩組，分別設于閥板板面的左右兩側；各閥板鎖緊機構分別包括閥板壓緊汽缸、閥板壓緊臂和鎖緊轉軸，閥板壓緊汽缸的活塞末端與閥板壓緊臂連接，閥板壓緊臂中部設置鎖緊轉軸；?

閥板壓緊臂設于鎖緊轉軸上端，鎖緊轉軸下端設有輔助壓緊臂；閥板壓緊臂為滾輪結構；?

閥板壓緊汽缸的運動方向與閥板開關汽缸的運動方向互相垂直。?