[實用新型]一種熱式氣體質量流量傳感器

有效

• 申請號: 201320553791.1
• 申請日: 2013-09-06
• 公開（公告）號: CN203414125U
• 公開（公告）日: 2014-01-29
• 發明（設計）人: 張申安;張鵠
• 申請（專利權）人: 張申安
• 主分類號: G01F1/86
• 分類號: G01F1/86
• 代理公司: 溫州甌越專利代理有限公司 33211
• 代理人: 張瑜生

1.一種熱式氣體質量流量傳感器，其特征在于：包括有基體，基體上形成有隔熱空腔以及覆有絕緣薄膜，絕緣薄膜包括對應隔熱空腔處的懸空部以及與基體附著結合的結合部，在絕緣薄膜的懸空部上設有兩個加熱熱敏電阻，兩個加熱熱敏電阻并列、對稱布置，在絕緣薄膜的結合部上設有溫度感應電阻，所述兩個加熱熱敏電阻以及溫度感應電阻的引腳經導線連接有焊盤。

2.根據權利要求1所述的熱式氣體質量流量傳感器，其特征在于：所述的兩個加熱熱敏電阻和溫度感應電阻上均覆蓋有鈍化保護層。

3.根據權利要求1或2所述的熱式氣體質量流量傳感器，其特征在于：所述絕緣薄膜上設有4個焊盤，分別為焊盤a、焊盤b、焊盤c和焊盤d，所述兩加熱熱敏電阻相鄰的引腳經導線共同連接在焊盤c上，其中一個加熱熱敏電阻的另一引腳與溫度感應電阻上與其相鄰的引腳之間經導線共同連接在焊盤d上，另一加熱熱敏電阻相對于連接在焊盤c的另一引腳經導線連接在焊盤b上，溫度感應電阻相對于與焊盤d上連接的另一引腳經導線連接在焊盤a上。

4.根據權利要求1或2所述的熱式氣體質量流量傳感器，其特征在于：所述的基體邊沿設有包覆在絕緣薄膜上的固定包邊。

5.根據權利要求3所述的熱式氣體質量流量傳感器，其特征在于：所述的基體邊沿設有包覆在絕緣薄膜上的固定包邊。