[實用新型]一種流化床多晶硅顆粒的制備裝置

有效

• 申請號: 201320549074.1
• 申請日: 2013-09-03
• 公開（公告）號: CN203593626U
• 公開（公告）日: 2014-05-14
• 發明（設計）人: 李波;宮有圣;金越順
• 申請（專利權）人: 浙江精功新材料技術有限公司
• 主分類號: C01B33/035
• 分類號: C01B33/035
• 代理公司: 杭州杭誠專利事務所有限公司 33109
• 代理人: 尉偉敏

1.一種流化床多晶硅顆粒的制備裝置，其特征在于，包括流化床反應器（1）、旋風分離器（10）、細硅顆粒晶種罐（11）和硅顆粒加料罐（14）；流化床反應器（1）包括流化床反應器筒體（2）和流化床擴大段（8）；流化床反應器筒體（2）底部設有產品出料口（3），下部設有硅源氣體進料口（4）和稀釋氣體進氣口（5），流化床反應器筒體（2）外部包覆有反應器加熱裝置（6）；流化床擴大段（8）頂部設有反應尾氣出口（9）；細硅顆粒晶種罐（11）頂部設有硅晶種加料口（12）和尾氣出口（13）；流化床擴大段（8）的底部與流化床反應器筒體（2）頂部固連，且流化床擴大段（8）的直徑大于流化床反應器筒體（2）的直徑；流化床擴大段（8）頂部通過管路與旋風分離器（10）進口相連，旋風分離器（10）底部出口與硅顆粒加料罐（14）相連，硅顆粒加料罐（14）的底部與設于流化床反應器筒體（2）下部的硅晶種進料口（7）相連；旋風分離器（10）頂部出口通過管路經尾氣加壓風機（15）后一方面與流化床反應器筒體（2）下部相連，另一方面與細硅顆粒晶種罐（11）下部相連，細硅顆粒晶種罐（11）底部出口通過管路與硅顆粒加料罐（14）相連；由產品出料口（3）連接的管路上設有熱量回收套筒（16），硅源性氣體先經設于管路上的氣體預熱器（17）預熱，再經過熱量回收套筒（16）換熱后，與硅源氣體進料口（4）相連。

2.根據權利要求1所述的一種流化床多晶硅顆粒的制備裝置，其特征在于，流化床擴大段（8）的直徑為流化床反應器筒體（2）直徑的1.5-3倍，且流化床擴大段（8）與流化床反應器筒體（2）連接處弧形過度；流化床擴大段（8）的長度為流化床反應器筒體（2）長度的1/3-1/2。

3.根據權利要求1所述的一種流化床多晶硅顆粒的制備裝置，其特征在于，所述硅顆粒加料罐（14）的位置與流化床反應器筒體（2）內的硅晶種位置相對應，硅顆粒加料罐（14）與流化床反應器形成連通器結構。

4.根據權利要求1所述的一種流化床多晶硅顆粒的制備裝置，其特征在于，流化床擴大段（8）與流化床反應器筒體（2）內壁設有厚度為1-3mm的內襯層。