[實用新型]一種三氯氧磷鼓泡器

有效

• 申請號: 201320548343.2
• 申請日: 2013-09-04
• 公開（公告）號: CN203602361U
• 公開（公告）日: 2014-05-21
• 發明（設計）人: 繆南山;張敏;李東升
• 申請（專利權）人: 上海正帆科技有限公司;上海正帆半導體設備有限公司
• 主分類號: C01B25/10
• 分類號: C01B25/10;B01F13/02
• 代理公司: 上海申匯專利代理有限公司 31001
• 代理人: 翁若瑩

技術領域

本實用新型涉及一種三氯氧磷鼓泡器。

背景技術

三氯氧磷(POCl₃)為無色透明的發煙液體，電子級三氯氧磷作為太陽能行業，集成電路，分離器件，光纖預制棒等的液態磷源，主要用于N型摻雜源。由于三氯氧磷具有較強的腐蝕性和氧化性，劇毒，遇水猛烈分解，產生大量的熱和濃煙，甚至發生爆炸。目前三氯氧磷的鼓泡器大部分采用石英材質，一旦鼓泡器內的三氯氧磷用完就需要更換鼓泡器，鼓泡器容積較小，且隨著工藝制程的升級和工廠規模的不斷擴大，更換鼓泡器的次數越來越多，石英鼓泡器在運輸和安裝過程中，極易破碎，風險極大，時常會出現鼓泡器破裂導致三氯氧磷泄露的事故，給用戶帶來很大困擾。

發明內容

本實用新型所要解決的是現有三氯氧磷鼓泡器內源料液位不可控，導致安全性低的技術問題。

為了解決上述問題，本實用新型提供了一種三氯氧磷鼓泡器，其特征在于，鼓泡器上設有進氣口及出氣口，進氣口的一端位于鼓泡器內下側，另一端從鼓泡器上方露出；出氣口的一端與鼓泡器上側連通，另一端位于鼓泡器上方；鼓泡器上設有非接觸式電容液位計、溫度傳感器及光學液位傳感器。

優選地，所述的進氣口位于鼓泡器外的一端設有進氣閥；出氣口位于鼓泡器外的一端設有出氣閥。

優選地，所述的鼓泡器上設有測溫口，測溫口內設有溫度傳感器。

進一步地，所述光學液位傳感器設于石英柱頂部，石英柱底端設于鼓泡器內高高液位處。

該鼓泡器頂部進氣口裝有一個進氣閥，進氣口管道深入該鼓泡器底部，進氣口除了在鼓泡時進氣，還可以在不鼓泡時，根據液位情況進行補液。該鼓泡器頂部出氣口裝有一個出氣閥，出氣口管道在容器最上方，不與該鼓泡器內液面接觸，既可以在鼓泡時向機臺設備提供源料蒸汽，還可以在補液時排氣。該鼓泡器頂部有三根深入該鼓泡器底部的盲管，其中兩根盲管內插入非接觸式電容液位計兩個感應電極進行液位檢測，另一根盲管內插入溫度傳感器用于測量該鼓泡器內源料的溫度；鼓泡器頂部有一根石英柱深入該鼓泡器內，石英柱上方安裝光學液位傳感器進行高高液位監測。

由于本發明三氯氧磷新鼓泡器的設計，可更準確地測量鼓泡器內源料液位，從而使鼓泡器自動補液系統更安全可靠。通過非接觸式電容液位計來判斷該鼓泡器內的液位高低。當該鼓泡器內的液位達到低液位，且鼓泡器未在執行鼓泡工藝時，進行補液。在補液過程中當該鼓泡器內的液位高于高液位或者機臺需要鼓泡時立即停止補液。同時，為了避免非接觸電容液位計故障導致三氯氧磷補液過多，發生泄漏危險，在該鼓泡器高高液位處安裝有石英柱，石英柱頂部的光學液位傳感器可透過石英柱對高高液位進行監測，當出現高高液位時，立即停止補液。通過使用兩種不同方法測量該鼓泡器內液位，使該鼓泡器內液位控制的更可靠，避免出現補液過量導致三氯氧磷泄露的危險，使三氯氧磷自動補液系統更安全可靠。

與現有技術相比，本實用新型的優點在于；

1)日常使用不需要更換鼓泡器，實現自動補液，使系統運行更安全，操作更方便；

2)鼓泡器液位測量不會保對所測介質造成任何污染，提高介質純度；

3)同時使用兩種方法進行液位測量，系統更安全可靠；

4)實現連續供液，提高產品質量和工藝的穩定性；

5)大大降低生產成本、物流成本；

6)有效降低環境污染。

附圖說明

圖1為本實用新型提供的三氯氧磷鼓泡器的結構示意圖。

具體實施方式

為使本實用新型更明顯易懂，茲以優選實施例，并配合附圖作詳細說明如下。

實施例

如圖1所示，為本實用新型提供的三氯氧磷鼓泡器的結構示意圖，鼓泡器12上插入兩根管道，分別作為進氣口3及出氣口4，進氣口3的一端插入鼓泡器12內，端口靠近鼓泡器12底部，另一端從鼓泡器12上方露出，在該端口安裝一個進氣閥1。出氣口4的下端與鼓泡器12上側連通，上端安裝一個出氣閥2。在鼓泡器12上，從上方插入兩根深入鼓泡器12底部的盲管，分別作為非接觸電容液位計安裝口一6、非接觸電容液位計安裝口二7，然后將非接觸式電容液位計5的兩根電極分別插入非接觸電容液位計安裝口一6、非接觸電容液位計安裝口二7固定安裝。在鼓泡器12上再插入一根深入鼓泡器12底部的盲管作為測溫口8，在測溫口8內安裝一個溫度傳感器9。在鼓泡器12內再安裝一套液位傳感器：石英柱10與光學液位傳感器11，光學液位傳感器11安裝在石英柱10頂部，石英柱10底部為圓錐形，該圓錐形底端位于鼓泡器12內高高液位處。

使用時，進氣口3既可以在鼓泡時進氣，還可以在不鼓泡時，根據鼓泡器內源料液位情況進行補液；出氣口4不與鼓泡器內的介質液面接觸，出氣口4既可以在鼓泡時向機臺設備提供源料蒸汽，還可以在補液時排氣；當源料液面在非接觸電容液位計安裝口一6、非接觸電容液位計安裝口二7之間發生變化時，非接觸式電容液位計5的兩根電極之間就會產生電容量的變化，經過變送器對非接觸式電容液位計5的電容信號進行轉換處理，非接觸式電容液位計5即可輸出標準的電信號，從而準確測量出源料的液位，在未鼓泡的時候根據液位情況判斷是否需要進行補液；測溫口8插入溫度傳感器9進行鼓泡器內介質溫度測量；光學液位傳感器11進行高高液位監測，石英柱10底部為圓錐形，圓錐形底端在鼓泡器12高高液位處，當鼓泡器12內液位過高時，光學液位傳感器11會發出高高液位報警信號，此時立即停止補液。