[實(shí)用新型]一種用于光刻機(jī)工件臺(tái)的具有柔性關(guān)節(jié)的線纜臺(tái)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320538935.6
• 申請(qǐng)日: 2013-08-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN203465517U
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-03-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 朱煜;張鳴;成榮;劉召;楊開(kāi)明;徐登峰;張利;秦慧超;趙彥坡;胡清平;田麗;葉偉楠;張金;尹文生;穆海華;胡金春
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 清華大學(xué);北京華卓精科科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G03F7/20
• 分類(lèi)號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 北京鴻元知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11327
• 代理人: 邸更巖

1.一種用于光刻機(jī)工件臺(tái)的具有柔性關(guān)節(jié)的線纜臺(tái)，其特征在于：所述的線纜臺(tái)含有從平面電機(jī)引出的線纜束（8）、柔性關(guān)節(jié)（7）、Y方向直線氣浮導(dǎo)軌滑塊機(jī)構(gòu)（6）、X方向直線導(dǎo)軌滑塊機(jī)構(gòu)（5）和X方向直線電機(jī)（9）；所述的線纜束（8）與所述的X方向直線導(dǎo)軌滑塊機(jī)構(gòu)（5）的滑塊連接，所述的X方向直線電機(jī)（9）驅(qū)動(dòng)X方向直線導(dǎo)軌滑塊機(jī)構(gòu)（5）的滑塊沿著X方向運(yùn)動(dòng)；所述的柔性關(guān)節(jié)（7）含有第一滾珠軸承（11）、第二滾珠軸承（12）和一個(gè)沿X方向布置的微型直線導(dǎo)軌滑塊機(jī)構(gòu)（13）；所述的第一滾珠軸承（11）沿Y方向布置，第一滾珠軸承的轉(zhuǎn)軸與微型直線導(dǎo)軌滑塊機(jī)構(gòu)（13）的導(dǎo)軌連接，第一滾珠軸承的軸套和所述的第二滾珠軸承（12）的軸套通過(guò)一個(gè)連接塊（10）固定在一起；所述的微型直線導(dǎo)軌滑塊機(jī)構(gòu)（13）的滑塊通過(guò)一個(gè)T形連接塊（16）與平面電機(jī)的動(dòng)子連接在一起；第二滾珠軸承（12）沿Z軸方向布置，第二滾珠軸承（12）的轉(zhuǎn)軸與所述的Y方向直線氣浮導(dǎo)軌滑塊機(jī)構(gòu)（6）的滑塊連接在一起；所述的Y方向直線氣浮導(dǎo)軌滑塊機(jī)構(gòu)（6）是通過(guò)一個(gè)L型連接板（18）與X方向直線導(dǎo)軌滑塊機(jī)構(gòu)（5）的滑塊連接在一起。

2.按照權(quán)利要求1所述的一種用于光刻機(jī)工件臺(tái)的具有柔性關(guān)節(jié)的線纜臺(tái)，其特征在于：在所述的柔性關(guān)節(jié)（7）上安裝有兩個(gè)光電位置探測(cè)器（30），兩個(gè)光電位置探測(cè)器對(duì)稱(chēng)布置在第二滾珠軸承（12）的兩側(cè)；每個(gè)光電位置探測(cè)器（30）包括一個(gè)光電位置傳感器（31）和一個(gè)激光準(zhǔn)直器（32）；兩個(gè)激光準(zhǔn)直器分別固定在一個(gè)V型連接板（17）上，而該V型連接板（17）則與所述的Y方向氣浮直線導(dǎo)軌滑塊機(jī)構(gòu)（6）的滑塊固定在一起；兩個(gè)光電位置傳感器（32）則位于T形連接塊（16）上，并分別對(duì)應(yīng)于一個(gè)激光準(zhǔn)直器（31），并保證每個(gè)激光準(zhǔn)直器（31）垂直于光電位置傳感器（32）的感光面。

3.按照權(quán)利要求1所述的一種用于光刻機(jī)工件臺(tái)的具有柔性關(guān)節(jié)的線纜臺(tái)，其特征在于：在所述的Y方向直線氣浮導(dǎo)軌滑塊機(jī)構(gòu)（6）和X方向直線導(dǎo)軌滑塊機(jī)構(gòu)（5）上分別安裝有線性光柵尺。

4.按照權(quán)利要求1所述的一種用于光刻機(jī)工件臺(tái)的具有柔性關(guān)節(jié)的線纜臺(tái)，其特征在于：所述的線纜束（8）采用扁平的線纜排管。