[實用新型]一種激光劃線形貌的檢測系統

有效

• 申請號: 201320535369.3
• 申請日: 2013-08-29
• 公開（公告）號: CN203518957U
• 公開（公告）日: 2014-04-02
• 發明（設計）人: 鄭向陽;徐湛;張發榮;楊榮;孟原;李立偉;郭鐵
• 申請（專利權）人: 新奧光伏能源有限公司
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 杜秀科

技術領域

本實用新型涉及太陽能電池檢測設備技術領域，特別是涉及一種激光劃線形貌的檢測系統。

背景技術

在研究薄膜太陽能電池的轉換效率與面積之間的關系時，研究者發現太陽能電池的轉換效率會隨著面積的增大而衰減。因此，在太陽能電池的制備過程中，多采用激光刻劃連續的薄膜層來制作集成型的太陽能電池組件。根據半導體材料的不同，薄膜太陽能電池主要分為硅基薄膜太陽能電池、銅銦鎵硒薄膜太陽能電池和碲化鎘薄膜太陽能電池。

在薄膜太陽能電池的制作過程中，需要進行三步激光劃線，第一步是激光刻劃前電極透明導電膜形成激光劃線P1（Pattern1），其目的是分割前電極透明導電膜；第二步是激光刻劃電池本征層形成激光劃線P2（Pattern2），其目的是將背電極和前電極相連通；第三步是激光刻劃背電極形成激光劃線P3（Pattern3），其目的是分割背電極。激光劃線形貌的好壞直接決定太陽能電池的輸出功率和太陽能電池性能的優劣，因此是檢測太陽能電池的合格與否的重要指標。

目前，檢測激光劃線形貌的方式主要有兩種：一種是對生產線上的太陽能電池進行抽樣檢測，首先對抽出的太陽能電池樣本進行切割，然后用常規的光學顯微鏡進行逐點觀測；另一種是停止激光劃線設備，在生產線傳送帶上，直接使用便攜顯微鏡對太陽能電池上的每個需要測試的點進行測試。

現有技術的缺陷在于，在檢測太陽能電池的激光劃線形貌時，采用人工手動抽樣，工作量較大并且繁瑣，耗時較長，因此檢測效率較低。

實用新型內容

本實用新型提供了一種激光劃線形貌的檢測系統，用以提高樣品的檢測效率，進而提高產品的生產效率。

本實用新型激光劃線形貌的檢測系統，包括：

檢測裝置、控制裝置、報警裝置和設置于檢測臺上用于對樣品進行定位的定位裝置；其中：

所述定位裝置包括檢測樣品位置的光電傳感器，以及分別設置于樣品相對兩側中每一側外部的至少一個定位氣頭；

所述檢測裝置，用于檢測樣品的檢測點的激光劃線寬度信息和/或激光劃線連續性信息并輸出；

所述控制裝置，與所述檢測裝置信號連接，用于當樣品的檢測點的激光劃線寬度超出標準寬度范圍時，和/或當樣品的檢測點的激光劃線不連續時，輸出報警控制信號；

所述報警裝置，與所述控制裝置信號連接，用于根據所述報警控制信號進行報警。

優選的，所述檢測裝置包括殼體以及位于殼體內部的自動對焦裝置、顯微裝置和圖像采集裝置，其中：

所述自動對焦裝置對定位后的樣品的檢測點進行對焦；

顯微裝置，與所述自動對焦裝置信號連接，用于對對焦后樣品的檢測點進行放大；

圖像采集裝置，與所述顯微裝置信號連接，用于對顯微裝置中呈現的圖像進行攝影。

較佳的，所述檢測臺為傳送臺，所述激光劃線形貌的檢測系統還包括橫跨傳送臺具有橫梁的龍門；

所述檢測裝置的殼體滑動裝配于所述橫梁。

較佳的，所述橫梁沿長度方向設置有滑槽，所述殼體具有與所述滑槽滑動配合的凸起。

優選的，所述激光劃線形貌的檢測系統還包括：

與圖像采集裝置信號連接，用于存儲所述圖像采集裝置所采集的圖像的存儲裝置；

與圖像采集裝置信號連接，用于打印所述圖像采集裝置所采集的圖像的打印裝置。

優選的，所述顯微裝置為光學顯微鏡。

優選的，所述的激光劃線形貌的檢測系統，還包括用于傳輸樣品至檢測臺的傳送裝置。

較佳的，所述傳送裝置為傳送帶。

優選的，所述檢測裝置還用于檢測樣品上的身份標識信息，所述身份標識信息包括激光劃線形成的二維碼、數字或字母。

對于上述的激光劃線形貌的檢測系統，所述樣品為具有激光劃線的太陽能電池。

在本實用新型技術方案中，由于自動化檢測激光劃線樣品，不需要人工參與，耗時短，因此大大提高了檢測效率，進而提高了產品的生產效率。另外，由于可以自動實時監控，避免了批量不合格品的產生，提高了產品良率，降低了生產成本。此外，該技術方案既可以用于在線連續生產時檢測樣品，又可以用于離線時檢測樣品，當在線連續生產時，可以對每一個樣品進行檢測，也可以采用定時檢測或定數量檢測的方式，當離線生產時可以對需要檢測的每個樣品進行逐點檢測，因此本實用新型技術方案的適用范圍廣，在線連續生產和離線生產時都可以實現對樣品的檢測，提高了樣品檢測效率，進而提高了產品的生產效率。

附圖說明

圖1為本實用新型實施例激光劃線形貌的檢測系統立體結構示意圖；