[實(shí)用新型]一種多片環(huán)形晶舟清洗治具

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320532757.6
• 申請(qǐng)日: 2013-08-29
• 公開（公告）號(hào): CN203417882U
• 公開（公告）日: 2014-02-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 秦國(guó)強(qiáng);王楊;趙慶;周詩(shī)鐸;辛科
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 武漢新芯集成電路制造有限公司
• 主分類號(hào): B08B3/08
• 分類號(hào): B08B3/08;H01L21/67
• 代理公司: 北京輕創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11212
• 代理人: 楊立

1.一種多片環(huán)形晶舟清洗治具，包括上端板承載座、下端板承載座和底板，其特征在于：所述上端板承載座和所述下端板承載座固定在所述底板上，所述底板上均勻設(shè)置有通孔，所述上端板承載座上設(shè)有托臺(tái)一和側(cè)板一，所述下端板承載座上設(shè)有托臺(tái)二和側(cè)板二，所述托臺(tái)一和托臺(tái)二均包括一承載面和一連接面，所述承載面具有一兩側(cè)帶平表面的圓弧形凹面構(gòu)型，所述側(cè)板一與所述托臺(tái)一的連接面緊貼，所述側(cè)板二與所述托臺(tái)二的連接面緊貼，所述側(cè)板一高度高于所述托臺(tái)一高度，所述側(cè)板二高度高于所述托臺(tái)二高度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種多片環(huán)形晶舟清洗治具，其特征在于：所述側(cè)板一和所述側(cè)板二上方均呈圓弧形。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多片環(huán)形晶舟清洗治具，其特征在于所述托臺(tái)一的寬度大于晶舟上端板的厚度，小于晶舟上端板與最近一片環(huán)形托板之間的距離，所述托臺(tái)二的寬度大于晶舟下端板的厚度，小于晶舟下端板與最近一片環(huán)形托板之間的距離。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多片環(huán)形晶舟清洗治具，其特征在于所述上端板承載座的承載面上圓弧形凹面的圓弧半徑大于或等于晶舟上端板半徑，所述下端板承載座的承載面上圓弧形凹面的圓弧半徑大于或等于晶舟下端板半徑。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多片環(huán)形晶舟清洗治具，其特征在于所述上端板承載座的擋板與所述下端板承載座的擋板之間的內(nèi)側(cè)距離比晶舟的長(zhǎng)度大5mm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多片環(huán)形晶舟清洗治具，其特征在于所述底板的長(zhǎng)度小于水平清洗槽底部的長(zhǎng)度。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種多片環(huán)形晶舟清洗治具，其特征在于：所述通孔為垂直設(shè)置的圓形通孔，所述圓形通孔等距分布在所述底板上。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種多片環(huán)形晶舟清洗治具，其特征在于：所述上端板承載座、所述下端板承載座和所述底板的材質(zhì)均為聚氯乙烯材質(zhì)。