[實用新型]電子束熔煉與定向凝固技術耦合制備多晶硅的裝置有效
| 申請號： | 201320531120.5 | 申請日： | 2013-08-28 |
| 公開（公告）號： | CN203440097U | 公開（公告）日： | 2014-02-19 |
| 發明（設計）人： | 譚毅;郭校亮;安廣野;張曉峰 | 申請（專利權）人： | 青島隆盛晶硅科技有限公司 |
| 主分類號： | C01B33/037 | 分類號： | C01B33/037 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 266234 山東省*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 電子束 熔煉 定向 凝固 技術 耦合 制備 多晶 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種電子束熔煉與定向凝固技術耦合制備多晶硅的裝置，包括爐體，其特征在于爐體中設有電子束熔煉組件和定向凝固組件，其中：
電子束熔煉組件包括位于爐體內上部的帶有水冷的熔化坩堝，該熔化坩堝一側帶有凹形熔化池，熔化池口至熔化坩堝的另一側為向下傾斜的導流區域；位于熔化坩堝上方的爐體頂部通連有熔化用電子槍和熔煉用電子槍，位于熔化坩堝的熔化池一側的爐體側壁通連有送料機構，該送料機構的出料口位于熔化池上方；
定向凝固組件包括位于爐體下部的凝固坩堝，凝固坩堝向外依次包圍設置有石墨發熱體和保溫套筒，凝固坩堝底部設置有與爐體底部通連的水冷拉錠旋轉機構，其中，該凝固坩堝位于導流區域的傾瀉口的下方，且傾瀉口正下方位置相對應的保溫套筒處開設有通孔。
2.根據權利要求1所述的電子束熔煉與定向凝固技術耦合制備多晶硅的裝置，其特征在于熔化坩堝為帶有水冷的銅坩堝。
3.根據權利要求1所述的電子束熔煉與定向凝固技術耦合制備多晶硅的裝置，其特征在于凝固坩堝為石英坩堝。
4.根據權利要求1所述的電子束熔煉與定向凝固技術耦合制備多晶硅的裝置，其特征在于導流區域內開設有導流凹槽。
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