[實(shí)用新型]電子束連續(xù)化熔煉制備太陽能級(jí)多晶硅的裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201320530768.0 | 申請(qǐng)日： | 2013-08-28 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN203440095U | 公開（公告）日： | 2014-02-19 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 譚毅;郭校亮;姜大川;安廣野 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 青島隆盛晶硅科技有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C01B33/037 | 分類號(hào)： | C01B33/037 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 266234 山東省*** | 國省代碼： | 山東;37 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 電子束 連續(xù) 熔煉 制備 太陽 能級(jí) 多晶 裝置 | ||
1.一種電子束連續(xù)化熔煉制備太陽能級(jí)多晶硅的裝置，包括爐體，其特征在于爐體內(nèi)上部設(shè)置帶有水冷的熔化坩堝，該熔化坩堝一側(cè)帶有凹形熔化池，熔化池口至熔化坩堝的另一側(cè)為向下傾斜的導(dǎo)流區(qū)域；位于熔化坩堝上方的爐體頂部通連有熔化用電子槍和熔煉用電子槍，位于熔化坩堝的熔化池一側(cè)的爐體側(cè)壁通連有送料機(jī)構(gòu)，該送料機(jī)構(gòu)的出料口位于熔化池上方；導(dǎo)流區(qū)域的傾瀉口下方的爐體底部設(shè)置有凝固坩堝。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子束連續(xù)化熔煉制備太陽能級(jí)多晶硅的裝置，其特征在于熔化坩堝為帶有水冷的銅坩堝。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子束連續(xù)化熔煉制備太陽能級(jí)多晶硅的裝置，其特征在于凝固坩堝為帶有水冷的銅坩堝。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子束連續(xù)化熔煉制備太陽能級(jí)多晶硅的裝置，其特征在于導(dǎo)流區(qū)域內(nèi)開設(shè)有導(dǎo)流凹槽。
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