[實用新型]一種柱形體側柱面鍍膜裝置及真空鍍膜設備

有效

• 申請號: 201320529780.X
• 申請日: 2013-08-28
• 公開（公告）號: CN203474884U
• 公開（公告）日: 2014-03-12
• 發明（設計）人: 陳郁芝;李學金;譚志新
• 申請（專利權）人: 深圳大學
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/50
• 代理公司: 深圳市恒申知識產權事務所(普通合伙) 44312
• 代理人: 陳健

技術領域

本實用新型涉及真空鍍膜技術，特別涉及一種柱形體側柱面鍍膜裝置及真空鍍膜設備。

背景技術

真空鍍膜設備能在平面型器件的表面沉積各種功能薄膜，以實現所需的功能。例如，一些光學器件的光學表面通常需要沉積一層或多層薄膜，使得光線經過該表面的反射或透射光特性發生變化。此外，許多機械加工所采用的刀具表面也需要沉積一層致密的、結合牢固的超硬膜層來延長使用壽命以提高切削效率等。

近年來，在光纖傳感領域，由于光纖表面等離子體共振（SPR）傳感器具有結構緊湊、靈敏度高、可實時監測、易于實現特異性檢測，而且不需要標記樣品，特別是通過光纖彎曲可以實現原位在線檢測等優點，成為越來越受到人們關注的折射率和生物、化學分子傳感器。光纖SPR傳感器需要在傳感裸光纖的側柱面上沉積納米級的金屬薄膜來作為傳感工作區。

然而，采用現有的真空鍍膜設備對柱形體器件的側柱面，例如光纖的側柱面上鍍一層薄膜時，通常需要進行多次鍍膜來完成側柱面的完整鍍膜。例如，欲在一個三角柱的三個側面沉積一層薄膜，則需要通過分別將每一側面與鍍膜機工作臺臺面平行放置的方式，進行三次鍍膜，導致鍍膜效率較低；而對于圓柱體側柱面的鍍膜就更難把握了，且不能保證膜層的均勻性。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題在于，提供一種可提高柱形體器件的側柱面鍍膜效率及質量的柱形體側柱面鍍膜裝置。本實用新型還提供一種采用該柱形體側柱面鍍膜裝置的真空鍍膜設備。

本實用新型是這樣實現的，提供一種柱形體側柱面鍍膜裝置，包括組合架、用于把所述組合架安裝在真空鍍膜設備上的固定支撐軸、用于與所述真空鍍膜設備的水平旋轉機構連接的銜接件、傳動軸、轉動軸和用于將所述水平旋轉機構的水平旋轉轉換成所述轉動軸的自轉的換向單元；所述傳動軸的第一端通過所述銜接件與所述水平旋轉機構連接；所述傳動軸的第二端通過所述換向單元與所述轉動軸連接轉；所述轉動軸安裝在所述組合架上；所述轉動軸的內部為用于放柱形體樣品的空腔結構；所述轉動軸的一端形有開口；所述開口與所述柱形體樣品上需要鍍膜的部分對應設置。

進一步地，所述組合架包括本體和延伸臂；所述延伸臂設置在所述本體上；所述固定支撐軸與所述本體連接；所述轉動軸安裝在所述延伸臂上。

進一步地，所述轉動軸通過軸承轉動地安裝在所述延伸臂中。

進一步地，兩個所述延伸臂間隔地設置在所述本體上；所述轉動軸的兩端分別轉動地安裝在兩個所述延伸臂中；所述換向單元包括第一傳動件和第二傳動件；所述第一傳動件安裝在所述傳動軸的所述第二端；所述第二傳動件設置在所述轉動軸上并與所述第一傳動件嚙合；所述第一傳動件和所述第二傳動件為相互配合的圓錐齒輪傳動、螺旋齒輪傳動或蝸輪蝸桿傳動。

進一步地，多個所述轉動軸相互平行且間隔地設置在兩個所述延伸臂之間，而且相鄰的所述轉動軸之間通過齒輪傳動連接。

進一步地，所述換向單元包括換向彈簧；所述換向彈簧將所述傳動軸的所述第二端與所述轉動軸的一端連接。

進一步地，所述換向彈簧為彎曲彈簧；通過彎折所述彎曲彈簧來調節所述彎曲彈簧的彎曲角度，從而調節所述轉動軸的軸線與水平面之間的夾角。

進一步地，所述組合架包括本體和延伸臂；所述延伸臂設置在所述本體上并呈弧形；所述固定支撐軸與所述本體連接；所述轉動軸安裝在所述延伸臂上。

本實用新型還提供一種真空鍍膜設備，包括水平旋轉機構及上述的柱形體側柱面鍍膜裝置；所述柱形體側柱面鍍膜裝置的銜接件與所述水平旋轉機構連接。

進一步地，所述真空鍍膜設備還包括頂蓋或隔熱板；所述柱形體側柱面鍍膜裝置的固定支撐軸的一端與所述組合架連接，另一端與所述頂蓋或隔熱板連接。

本實用新型一實施例中的柱形體側柱面鍍膜裝置及真空鍍膜設備通過換向單元將水平旋轉機構的水平旋轉轉換成轉動軸的自轉，且轉動軸的內部可用于放柱形體樣品，使得柱形體側柱面鍍膜旋轉更加穩定，保證了同一橫截面薄膜的均勻性。

附圖說明

圖1為本實用新型一實施例中柱形體側柱面鍍膜裝置的結構示意圖。

圖2為本實用新型另一實施例中柱形體側柱面鍍膜裝置的結構示意圖。

具體實施方式

為了使本實用新型所要解決的技術問題、技術方案及有益效果更加清楚明白，以下結合附圖及實施例，對本實用新型進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。