[實(shí)用新型]基于掃描電鏡下微型原位力學(xué)測(cè)試儀有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201320529232.7 | 申請(qǐng)日: | 2013-08-28 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN203405477U | 公開(kāi)(公告)日: | 2014-01-22 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 趙宏偉;楊雪露;劉國(guó)飛;梁燚杰;喻虎;陳園園;崔麗娜;張霖 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 吉林大學(xué) |
| 主分類號(hào): | G01Q30/02 | 分類號(hào): | G01Q30/02;G01N3/04;G01N3/00 |
| 代理公司: | 長(zhǎng)春吉大專利代理有限責(zé)任公司 22201 | 代理人: | 朱世林;王壽珍 |
| 地址: | 130012 吉*** | 國(guó)省代碼: | 吉林;22 |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 基于 掃描電鏡 微型 原位 力學(xué) 測(cè)試儀 | ||
1.一種基于掃描電鏡下微型原位力學(xué)測(cè)試儀,包括一工作臺(tái)底板(1)、固設(shè)在工作臺(tái)底板(1)上的導(dǎo)軌(2)、分別通過(guò)滑塊(3)設(shè)置在導(dǎo)軌(2)上的第I工作臺(tái)(4)和第II工作臺(tái)(5)、在兩工作臺(tái)(4、5)上分別設(shè)置對(duì)應(yīng)的夾具體(7、8),其特征在于:
穿置在該兩個(gè)工作臺(tái)兩端的兩根絲杠(6)通過(guò)與每根絲杠上的兩段反向螺紋配合的兩個(gè)螺母中的一個(gè)螺母與所述的第II工作臺(tái)(5)固連,另一個(gè)螺母與第I工作臺(tái)(4)外側(cè)的力傳感器支座(20)固連,一力傳感器(21)兩端分別固連在第I工作臺(tái)(4)和力傳感器支座(20)上;
在所述工作臺(tái)底板(1)的一側(cè)固設(shè)第一直流伺服電機(jī)(9),其電機(jī)軸通過(guò)聯(lián)軸器與第一渦輪副的渦桿軸(10)相連接,通過(guò)平行設(shè)置在第一渦輪副渦輪軸(11)上的兩個(gè)二級(jí)傳動(dòng)渦輪副的渦輪軸(12)與所述的穿置在該兩個(gè)工作臺(tái)兩端的兩根絲杠(6)的一端相連接;
在所述工作臺(tái)底板(1)的另一側(cè)固設(shè)第二直流伺服電機(jī)(13),其電機(jī)軸通過(guò)聯(lián)軸器與第二渦輪副的渦桿軸(14)相連接,通過(guò)設(shè)置在第二渦輪副渦輪軸(15)上的二級(jí)傳動(dòng)渦輪副的渦輪軸(16)與通過(guò)軸承支撐座(17)固設(shè)在工作臺(tái)底板上的花鍵套(18)相連接;
在所述的第II工作臺(tái)(5)中通過(guò)推力軸承設(shè)置一扭轉(zhuǎn)軸(19),一個(gè)所述的夾具體(8)固設(shè)在扭轉(zhuǎn)軸(19)的一端,扭轉(zhuǎn)軸(19)的另一端制成花鍵軸插置在所述的花鍵套(18)中并與其呈軸向滑配合。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于掃描電鏡下微型原位力學(xué)測(cè)試儀,其特征在于,在所述的導(dǎo)軌(2)的一側(cè)設(shè)置一光柵位移傳感器(22),其兩端的接口模塊分別通過(guò)支架用螺釘固連在第I工作臺(tái)(4)和第II工作臺(tái)(5)側(cè)端上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于掃描電鏡下微型原位力學(xué)測(cè)試儀,其特征在于,在所述的夾具體(7、8)上分別設(shè)置通過(guò)螺釘固定的夾持試樣壓板(23)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于掃描電鏡下微型原位力學(xué)測(cè)試儀,其特征在于,所述的夾具體(7、8)通過(guò)內(nèi)六角緊定螺釘分別連接在第I工作臺(tái)(4)上和第II工作臺(tái)(5)中的扭轉(zhuǎn)軸(19)的軸端上。
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- 專利分類
G01Q 掃描探針技術(shù)或設(shè)備;掃描探針技術(shù)的應(yīng)用,例如,掃描探針顯微術(shù)[SPM]
G01Q30-00 用于輔助或改進(jìn)掃描探針技術(shù)或設(shè)備的輔助手段,例如顯示或數(shù)據(jù)處理裝置
G01Q30-02 .非SPM的分析裝置,例如,SEM[掃描電子顯微鏡],分光計(jì)或光學(xué)顯微鏡
G01Q30-04 .顯示或數(shù)據(jù)處理裝置
G01Q30-08 .建立或調(diào)節(jié)樣本室所需環(huán)境條件的手段
G01Q30-18 .保護(hù)或避免樣品室內(nèi)部受到外界環(huán)境狀況影響的手段,例如振動(dòng)或電磁場(chǎng)
G01Q30-20 .樣品處理裝置或方法
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