[實用新型]噴槍固定式旋轉靶材噴涂裝置

有效

• 申請號: 201320528418.0
• 申請日: 2013-08-28
• 公開（公告）號: CN203429061U
• 公開（公告）日: 2014-02-12
• 發明（設計）人: 莊志杰
• 申請（專利權）人: 莊志杰
• 主分類號: C03C17/00
• 分類號: C03C17/00;C03C17/22
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 徐偉奇

1.噴槍固定式旋轉靶材噴涂裝置，包括機座(1)、密閉噴涂倉(2)、靶材背管(3)、固定式噴槍(4)、氣管(5)和送粉管(6)，其特征是：機座(1)上安裝固定式噴槍(4)，在固定式噴槍(4)上安裝有氣管(5)和送粉管(6)，在機座(1)上固定式噴槍(4)噴射方向前方垂直安裝靶材背管(3)，同時，在機座(1)上靶材背管(3)外安裝密閉噴涂倉(2)，而且，固定式噴槍(4)固定安裝在機座(1)上，靶材背管(3)在固定式噴槍(4)上方線性移動并且繞靶材背管(3)中軸線勻速轉動。

2.如權利要求1所述的噴槍固定式旋轉靶材噴涂裝置，其特征在于，靶材背管（3）在固定式噴槍（4）噴射方向前方垂直方向上做往復線性移動且軌跡固定。

3.如權利要求1所述的噴槍固定式旋轉靶材噴涂裝置，其特征在于，靶材背管（3）與機座（1）之間通過傳動系統連接。

4.如權利要求1所述的噴槍固定式旋轉靶材噴涂裝置，其特征在于，密閉噴涂倉（2）安裝于機座（1）上，密閉噴涂倉（2）內通入惰性氣體。

5.如權利要求1所述的噴槍固定式旋轉靶材噴涂裝置，其特征在于，制備低氧含量的純硅靶材；噴涂用硅粉：純度≥99.95%?，粒度：50-300Mesh；靶材背管（3）規格：長度3191毫米，內徑125毫米，外徑133毫米；靶材背管（3）旋轉速度：50轉/分鐘?；靶材背管（3）水平移動速度500毫米/分鐘；密閉噴涂倉（2）內保護氣體通入量：50L/分鐘；最后獲得靶材:?靶材密度:95%,理論密度為2.3g/cm³,含氧O₂量?1000ppm?(Wt%)。