[實用新型]基于數字微鏡器件的跨尺度測量裝置有效

申請號：	201320526953.2	申請日：	2013-08-28
公開（公告）號：	CN203518958U	公開（公告）日：	2014-04-02
發明（設計）人：	余卿;崔長彩;葉瑞芳;范偉	申請（專利權）人：	華僑大學
主分類號：	G01B11/25	分類號：	G01B11/25
代理公司：	泉州市文華專利代理有限公司 35205	代理人：	陳雪瑩
地址：	362000 福***	國省代碼：	福建;35
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摘要：
搜索關鍵詞：	基于數字器件尺度測量裝置
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【權利要求書】：

1.基于數字微鏡器件的跨尺度測量裝置，其特征在于：包括激光光源、準直鏡、DMD及其控制系統、第一凸透鏡、分光鏡、第二凸透鏡、第三凸透鏡和CCD相機，準直鏡與激光光源發光的光束共光軸，準直鏡的出射方向與DMD的表面的夾角大于0°且小于90°，沿DMD的第一出射方向依次設置第一凸透鏡和分光鏡，分光鏡的反射方向沿光路依次放置第二凸透鏡和被測物，分光鏡的反射方向的相反方向沿光路依次放置第三凸透鏡和CCD相機；其中，DMD的反射面位于準直鏡和第一凸透鏡的光軸上，第一凸透鏡、第二凸透鏡和第三凸透鏡相應側的焦點均落于分光鏡上，被測物放置于第二凸透鏡的另一側焦點附近，CCD相機放置于第三凸透鏡的另一側焦點附近。

2.根據權利要求1所述的基于數字微鏡器件的跨尺度測量裝置，其特征在于：還包括放置于DMD的第二出射方向的另一CCD相機。

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