[實用新型]一種降低直拉單晶斷尾的單晶爐

有效

• 申請號: 201320524471.3
• 申請日: 2013-08-26
• 公開（公告）號: CN203639602U
• 公開（公告）日: 2014-06-11
• 發明（設計）人: 楊立輝;高廣林;劉翠鎖;李嵩;王怡然
• 申請（專利權）人: 河北寧晉松宮半導體有限公司
• 主分類號: C30B15/22
• 分類號: C30B15/22
• 代理公司: 河北東尚律師事務所 13124
• 代理人: 王文慶

技術領域

本實用新型涉及一種單晶爐，具體涉及一種有效降低直拉單晶斷尾的單晶爐。

背景技術

通常的單晶爐在直拉單晶生長等徑過程結束時，進入收尾工序，經常會遇到兩種情況：一種是收尾操作開始時剩余硅料較多，收尾工序結束后，剩余硅料也較多，因此減少了單晶生長長度及硅料利用率，造成單晶成品率降低，致使生產成本升高；另一種是收尾過程尚未結束，剩余硅料太少,不足以完成收尾長度的要求，從而導致收尾失敗，出現斷尾現象，此種情況單晶損失很大，因為收斷尾后接觸面溫度仍高于850度，此時位錯會向上移動大約一個直徑長度。判斷收尾操作開始的時間點不好把握，成為困擾直拉單晶行業的一個重要問題。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是提供一種能夠準確判斷收尾操作開始的時間點的降低直拉單晶斷尾的單晶爐。

為解決上述技術問題，本實用新型所采取的技術方案是：一種降低直拉單晶斷尾的單晶爐，包括導流筒；所述導流筒的下沿開有一個或多個觀察槽。

其中，所述導流筒包括內筒和外筒；外筒的下沿設有內翻邊，內筒的底部與內翻邊的頂部聯接；所述觀察槽設在外筒的下沿和內翻邊上。

其中，所述觀察槽的高度為15至35毫米。

其中，所述觀察槽為2至5個，并且沿著導流筒的下沿圓周均勻分布。

其中，所述觀察槽為拱形、方形或弧形。

采用上述技術方案所產生的有益效果在于：本實用新型能夠保證最佳的單晶生長長度，提升了直拉單晶的成品率，降低了斷尾操作出現的幾率，減少了收尾失敗的單晶損失，保證了成品率。本實用新型簡單有效，不增加生產成本，易于實用和推廣。

附圖說明

圖1是本實用新型導流筒的結構示意圖；

圖中：1、內筒，2、外筒，3、觀察槽。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施方式對本實用新型作進一步詳細的說明。

本實用新型為一種降低直拉單晶斷尾的單晶爐，包括導流筒；導流筒的下沿開有一個或多個觀察槽3；觀察槽3為拱形、方形或弧形，觀察槽3的高度為15至35毫米；觀察槽3為2至5個，并且沿著導流筒的下沿圓周均勻分布。

如圖1所示，本實用新型的導流筒包括內筒1和外筒2；外筒2的下沿設有內翻邊，內筒1的底部與內翻邊的頂部聯接；所述觀察槽3設在外筒2的下沿和內翻邊上。

收尾階段，通過觀察槽3，操作人員可以從單晶爐的觀察窗對石英堝內的剩余硅料量進行明確判斷，準確把握收尾操作的開始時間，既提高了收尾成功率，又提高了單晶產量和單晶成品率。