[實用新型]精餾尾氣回收系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320522223.5
• 申請日: 2013-08-26
• 公開（公告）號: CN203513288U
• 公開（公告）日: 2014-04-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 齊林喜;郭金強
• 申請（專利權(quán)）人: 內(nèi)蒙古盾安光伏科技有限公司
• 主分類號: C01B33/107
• 分類號: C01B33/107
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及尾氣回收系統(tǒng)，具體涉及一種多晶硅精餾尾氣回收系統(tǒng)。

背景技術(shù)

目前國內(nèi)生產(chǎn)多晶硅的主要工藝采用改良西門子法，主要包括氫化、還原、精餾及尾氣處理幾個階段。其中在還原過程后有大量尾氣排出，目前主要采用干法回收工藝：還原尾氣中的H2、HCl、SiHCl3、SiCl4等成分經(jīng)鼓泡、氯硅烷噴淋洗滌、加壓并冷卻到一定溫度，冷凝出SiHCl3、SiCl4。冷凝出的SiHCl3、SiCl4再經(jīng)過精餾工序，將分離出的SiHCl3直接返回還原工序。

還原段的尾氣通過精餾段提純再利用后，精餾段的尾氣通常被認為是沒有利用價值。此外，通常認為二氯二氫硅對還原反應(yīng)是有害無益的，如果要回收精餾尾氣再利用就必須盡量去除二氯二氫硅，這就導(dǎo)致回收的投入成本過大而放棄回收。因而，這些尾氣會直接進入“三廢”處理工段。這會造成：1、資源浪費；2、“三廢”工段處理壓力增大；3、“三廢”存在著火等安全隱患。

實用新型內(nèi)容

針對上述所存在的問題，本實用新型的目的是提供一種成本低廉，回收充分，運行穩(wěn)定的精餾尾氣回收系統(tǒng)。

為達到上述技術(shù)效果，本實用新型所采取的技術(shù)方案是：一種精餾尾氣回收系統(tǒng)，包括：具有入口、第一出口、第二出口的冷凝回收系統(tǒng)；

與冷凝回收系統(tǒng)第一出口連接的冷凝料存儲器；

所述的冷凝回收系統(tǒng)入口與精餾塔尾氣出口連接；

所述的冷凝回收系統(tǒng)第二出口與尾氣處理系統(tǒng)連接；

所述的冷凝回收系統(tǒng)包括冷凝器、管路、閥門、儀表以及調(diào)節(jié)系統(tǒng)壓力的壓力聯(lián)鎖系統(tǒng)；冷凝器連接有冷凝料存儲器。

進一步地，所述壓力聯(lián)鎖系統(tǒng)包括相連的壓力檢測機構(gòu)和壓力控制機構(gòu)。

進一步地，所述的壓力檢測機構(gòu)包括壓力指示控制儀表和壓力變送器；所述的壓力控制機構(gòu)包括調(diào)節(jié)機構(gòu)和壓力繼電器。

進一步地，所述的調(diào)節(jié)機構(gòu)包括壓力調(diào)節(jié)閥、變徑；所述調(diào)節(jié)機構(gòu)還包括手閥和排凈閥。

進一步地，所述的冷凝器通常是復(fù)數(shù)個；冷凝器通過串聯(lián)相互連接；所述的冷凝料存儲器是冷凝罐。

進一步地，所述壓力控制機構(gòu)位于冷凝器與第二出口之間。

進一步地，所述的系統(tǒng)壓力為0.1MPa至0.15MPa。

本實用新型的有益效果是：通過冷凝回收系統(tǒng)回收尾氣，同時通過壓力聯(lián)鎖系統(tǒng)保證整個回收系統(tǒng)的高效、穩(wěn)定運行。

附圖說明

圖1是本實用新型精餾尾氣回收系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本實用新型精餾尾氣回收系統(tǒng)的局部放大圖。

其中：1、冷凝回收系統(tǒng)，2、冷凝器，3、壓力檢測機構(gòu)，31、壓力指示控制儀表，32、壓力變送器，4、壓力控制機構(gòu)，41、壓力繼電器，42、手閥，43、變徑，44、排凈閥，45、調(diào)節(jié)閥，5、冷凝料存儲器。

具體實施方式

下面將結(jié)合附圖對實用新型作進一步說明。

如圖1，圖2所示，本實用新型精餾尾氣回收系統(tǒng)包括具有入口、第一出口、第二出口的冷凝回收系統(tǒng)1；冷凝回收系統(tǒng)1通過第一出口與冷凝料存儲器5相連，通過入口與精餾塔尾氣出口相連，通過第二出口與尾氣處理系統(tǒng)相連。冷凝回收系統(tǒng)1包括復(fù)數(shù)個冷凝器2、管路、閥門、儀表以及壓力聯(lián)鎖系統(tǒng)。冷凝器2之間是通過串聯(lián)連接的，精餾段尾氣首先進入第一個冷凝器2的進氣口，通過冷凝后將冷凝液通過該冷凝器2的液體出口進入冷凝料存儲器5（通常是尾氣冷凝罐），而剩余的尾氣通過氣體出口進入下一個冷凝器2的入口，如此循環(huán)，直至達到設(shè)計要求后，將最后一個冷凝器2中排出的氣體接入“三廢”處理工段進行處理。冷凝料存儲器5中的冷凝液則可以在之后的工序中進入三氯氫硅還原過程的物料循環(huán)中去。其中進入回收系統(tǒng)的尾氣中含有二氯二氫硅，在冷凝液中也含有二氯二氫硅，并且這部分二氯二氫硅不需要與冷凝液中其他物質(zhì)特別分離?？梢耘c冷凝液一起經(jīng)過一定工序后作為原料進入三氯氫硅的還原過程中。這一過程就省去了將冷凝液中的二氯氫硅去除的過程，大大節(jié)省了成本，同時也提高了回收的效率。