[實用新型]過濾器以及酸洗設備

有效

• 申請號: 201320510138.7
• 申請日: 2013-08-20
• 公開（公告）號: CN203425585U
• 公開（公告）日: 2014-02-12
• 發明（設計）人: 楊勇;杜亮
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: B01D29/33
• 分類號: B01D29/33;B01D35/143;B01D35/02;C23F1/46
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

技術領域

本實用新型涉及半導體設備，特別涉及一種濕法清洗中的過濾器以及酸洗設備。

背景技術

在半導體制造中，需要涉及到許許多多的工序，每道工序都是由一定的工藝及設備完成。濕法清洗是絕大多數產品在制造過程中所必經的一步，濕法清洗的效果的優劣直接影響著產品的質量，因此，對濕法清洗的設備就有著嚴格的要求。

目前，由于半導體制造的大批量化，以及在濕法清洗時酸液不可能一次就消耗完，因而多是采用對酸液加以循環利用以盡可能節省成本。由于新的酸液在進行第一次使用后必然會引入雜質，所以在下一次對其利用時，其中的雜質會影響酸液的質量和使用效果，因此，需要將酸液中的雜質去除，以使得酸液的成分符合要求，從而繼續進行清洗。介于此，業界在清洗設備中加入了過濾器，所述過濾器中設置有濾網，以將上一次清洗后的雜質去除，以免對下一次清洗產生影響。

由于半導體制造的精密性，對酸液的要求也較高，就目前的材料而言，只能夠保證濾網在一定的期限內能夠滿足工藝的需要，而這一期限通常是由廠家經過試驗獲得。不可否認的是，在實際生產中會出現各種各樣的問題，那么就有可能使得濾網在期限內受到破壞，例如被堵塞、破損等情況，這時，過濾器對酸液的過濾就可能達不到要求，而這目前只能在后續操作中才能發現問題，從而造成較大的損失。

因此，需要對現有技術加以改善，使得能夠及時知曉過濾器尤其是濾網的質量情況，以盡早發現異常，降低損失。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種過濾器以及酸洗設備，解決現有技術中不能夠掌握過濾器在使用過程中質量是否合格的問題。

為解決上述技術問題，本實用新型提供一種過濾器，用于半導體濕法清洗中對酸液進行過濾，包括：

殼體以及位于所述殼體中的濾網；

其中，所述殼體包括側壁，所述側壁由內至外包括內壁、感壓膜及外壁，所述感壓膜偵測所述過濾器內的壓強并傳遞信號至外界。

可選的，對于所述的過濾器，所述側壁的形狀為圓筒形，所述濾網的形狀為一端敞開的空心圓柱形，所述濾網的高度及底面積均小于所述側壁的高度及底面積。

可選的，對于所述的過濾器，所述過濾器進一步包括與所述側壁相連接的頂板和底板，所述濾網的敞開一端連接于所述頂板，所述濾網與所述側壁及所述底板之間具有空隙，所述酸液經過所述空隙。

可選的，對于所述的過濾器，所述過濾器包括穿過所述側壁的一進液管和一排液管，所述濾網包括一開口，所述開口和所述排液管相連通；所述進液管與所述空隙相連通，所述酸液由所述進液管進入所述空隙，經所述濾網過濾后滲入所述濾網中，并經由所述開口和排液管排出。

可選的，對于所述的過濾器，所述過濾器還包括一穿過所述底板的廢液排放口，經所述濾網過濾后的廢液由所述廢液排放口排出。

可選的，對于所述的過濾器，所述過濾器還包括一顯示屏，所述感壓膜偵測到的壓強由所述顯示屏顯示。

相應的，本實用新型還提供一種酸洗設備，用于半導體制造過程中對晶圓進行清洗，所述酸洗設備包括酸槽、過濾器，所述酸液經所述過濾器后進入酸槽對待清洗晶圓進行清洗；其中，所述過濾器為如上所述的過濾器。

與現有技術相比，在本實用新型提供的過濾器以及酸洗設備中，在所述過濾器中設置有感壓膜，能夠實時偵測過濾器中的壓強變化，從而間接反映處濾網的質量，能夠及時發現異常，降低乃至避免損失。

附圖說明

圖1為本實用新型一實施例的過濾器的結構示意圖；

圖2為本實用新型一實施例的過濾器的側壁的結構示意圖；

圖3為本實用新型的過濾器在多個時間段中記錄的數據的圖表。

具體實施方式

在背景技術中已經提及，目前的設備存在不能夠知曉過濾器在使用過程中的質量狀況，只能在發生故障后在后段發現。發明人研究后發現，當濾網出現異常狀況時，其周邊的壓強會隨之變動，而正常情況下，壓強是基本不會變化，那么，若能夠偵測內部的壓強變動，就能夠表征出濾網的質量狀況。

以下結合附圖和具體實施例對本實用新型提供的過濾器以及酸洗設備作進一步詳細說明。根據下面說明和權利要求書，本實用新型的優點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。