[實用新型]多晶硅還原爐可調多路進氣結構有效
| 申請號： | 201320509742.8 | 申請日： | 2013-08-20 |
| 公開（公告）號： | CN203461826U | 公開（公告）日： | 2014-03-05 |
| 發明（設計）人： | 程佳彪;茅陸榮;沈剛;吳海龍 | 申請（專利權）人： | 上海森松新能源設備有限公司 |
| 主分類號： | C01B33/035 | 分類號： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 上海百一領御專利代理事務所(普通合伙) 31243 | 代理人： | 馬育麟 |
| 地址： | 201323 上海市浦東*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 多晶 還原 可調 多路進氣 結構 | ||
【權利要求書】：
1.多晶硅還原爐可調多路進氣結構，包括進氣環管（2），進氣總管（3），所述進氣總管（3）與進氣環管（2）連接，所述進氣環管（2）與進氣支管（1）連接，其特征在于，所述進氣總管（3）上設置流量調節閥（4）。?
2.根據權利要求1所述的多晶硅還原爐可調多路進氣結構，其特征在于：所述進氣結構包含有2個或2個以上的進氣環管(2)。?
3.根據權利要求2所述的多晶硅還原爐可調多路進氣結構，其特征在于：所述進氣環管（2）呈圈狀分布在底盤下方，所述進氣環管（2）之間互不連通。?
4.根據權利要求1所述的多晶硅還原爐可調多路進氣結構，其特征在于：所述進氣環管（2）上分別分布有數個進氣支管（1）。?
5.根據權利要求1所述的多晶硅還原爐可調多路進氣結構，其特征在于：所述進氣支管（1）與所述進氣環管（2）焊接連接，并且所述進氣支管（1）與還原爐進氣口連接。?
6.根據權利要求1所述的多晶硅還原爐可調多路進氣結構，其特征在于：每個所述進氣環管（2）分別與所述進氣總管（3）連接。?
7.根據權利要求1所述的多晶硅還原爐可調多路進氣結構，其特征在于：所述進氣環管（2）對稱均勻分布。?
8.根據權利要求1所述的多晶硅還原爐可調多路進氣結構，其特征在于：所述進氣總管（3）上設置有測溫儀（5）。?
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