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[實用新型]研磨拋光設備上的氣缸調平結構有效

專利信息
申請號: 201320507715.7 申請日: 2013-08-19
公開(公告)號: CN203527236U 公開(公告)日: 2014-04-09
發明(設計)人: 石會會 申請(專利權)人: 浙江森永光電設備有限公司
主分類號: B24B37/34 分類號: B24B37/34
代理公司: 上海伯瑞杰知識產權代理有限公司 31227 代理人: 吳澤群
地址: 314000 浙江省嘉興市秀洲區*** 國省代碼: 浙江;33
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摘要:
搜索關鍵詞: 研磨 拋光 設備 氣缸 結構
【說明書】:

技術領域

實用新型涉及一種調節裝置,具體為一種研磨拋光設備上的氣缸調平結構,屬于研磨拋光設備技術領域。?

背景技術

研磨拋光設備廣泛應用于IC、IT行業中如碳化硅、蘭寶石、壓電晶體、壓電陶瓷、鉬片、半導體芯片、硅片以及光學光電子、液晶顯示及LED、手機配件(金屬、玻璃)、記憶硬盤、金屬加工制造等硬脆易碎材料的研磨和拋光。?

通常的研磨拋光設備一般包括操作面板,收容控制電路、多個驅動電機和減速機的機柜,機柜頂部為與驅動電機輸出軸傳動連接的水平下定盤,機柜的兩側設置有支撐柱,支撐柱的上方為水平的橫梁;所述的橫梁上豎直固定有氣缸,氣缸頂桿在橫梁的下方做豎直方向移動,氣缸頂桿端部與上研磨/拋光盤上方安裝的分液環剛性連接,分液環與研磨/拋光盤之間通過定盤支柱固定和連接。?

目前常用的研磨拋光設備上的氣缸下固定板是直接擰緊固定在橫梁上的,該氣缸下固定板上只有四個沉頭孔與橫梁上的四孔相配合,通過螺釘連接在一起。一旦擰緊螺釘,氣缸頂桿的位置則固定不?可調節,若此時氣缸頂桿未對準研磨盤或拋光盤的中心,則氣缸頂桿下降后,上、下研磨/拋光盤會錯位,影響加工精度,并加快盤的損耗。?

實用新型內容

本實用新型提供一種結構設計合理,使用方便的研磨拋光設備上的氣缸調平結構。以克服現有技術中存在的上述不足。?

本實用新型的目的是通過以下技術方案來實現的:?

研磨拋光設備上的氣缸調平結構,包括上研磨/拋光盤、下研磨/拋光盤、橫梁和氣缸;所述的橫梁為空心結構,所述的氣缸包括氣缸上固定板和氣缸下固定板;氣缸上固定板設置于橫梁內側,氣缸下固定板設置于橫梁外側,氣缸上固定板和氣缸下固定板夾持橫梁的下側壁;所述的氣缸下固定板和氣缸上固定板上均設置有若干匹配沉頭孔,并通過固定螺釘固定;所述的橫梁上與沉頭孔對應的位置設置有通孔;所述的氣缸下固定板上還設置有若干螺孔,并在橫梁相應的位置設置有螺孔,每個螺孔匹配有調平螺釘。?

所述的沉頭孔為四個,呈正方形排布;所述的螺孔為四個,呈正方形排布。?

所述的調平螺釘為開槽平端緊定螺釘。?

本實用新型與現有技術相比,具有以下優點和效果:該設計因為它具有微調氣缸頂桿位置的功能,給操作人員帶來很大便捷,節約了大量的調節機器時間成本。?

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖;(圖中省略了其他未改進的部位)?

圖2為圖1的A-A向剖面結構示意圖;?

圖3為氣缸與橫梁連接處的剖視結構示意圖;?

圖中:1、氣缸??2、橫梁??3、氣缸下固定板??4、氣缸桿?

5、上研磨/拋光盤??6、下研磨/拋光盤??7、調平螺釘?

8、氣缸上固定板。?

具體實施方式

下面結合附圖與具體實施例進一步闡述本實用新型的結構特點:?

如圖1和圖2所示,研磨拋光設備上的氣缸調平結構,包括上研磨/拋光盤5、下研磨/拋光盤6、橫梁2和氣缸1;所述的橫梁2為空心結構;所述的氣缸1包括氣缸上固定板3和氣缸下固定板8;氣缸上固定板3設置于橫梁2內側,氣缸下固定板8設置于橫梁2外側,氣缸上固定板3和氣缸下固定板8夾持橫梁2的下側壁;所述的氣缸下固定板8和氣缸上固定板3上均設置有若干匹配沉頭孔,并通過固定螺釘固定;所述的橫梁2上與沉頭孔對應的位置設置有通孔;所述的氣缸下固定板3上還設置有若干螺孔,并在橫梁2相應的位置設置有螺孔,每個螺孔匹配有調平螺釘7。?

所述的沉頭孔為四個,呈正方形排布;所述的螺孔為四個,呈正?方形排布。?

所述的調平螺釘7為開槽平端緊定螺釘。?

如圖3所示,在調試機器過程中,氣缸下固定板8上四個沉頭孔處的固定螺釘先不擰緊,當緩緩放下、上研磨/拋光盤的時候,若發現上、下研磨/拋光盤中心未對準、有少許錯位,這時可通過調節開槽平端緊定螺釘,通過開槽平端緊定螺釘的端部略微頂起某一位置的氣缸上固定板3,從而達到微調氣缸頂桿的方向,最終達到下、上研磨/拋光盤完全重合的目的。最后再擰緊四顆固定螺釘即可。?

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