[實用新型]掩模板清洗器

有效

• 申請號: 201320507563.0
• 申請日: 2013-08-11
• 公開（公告）號: CN203417881U
• 公開（公告）日: 2014-02-05
• 發明（設計）人: 唐軍
• 申請（專利權）人: 唐軍
• 主分類號: B08B3/08
• 分類號: B08B3/08;B08B3/10;F26B21/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種掩模板清洗器，其特征在于：包括依次設置的料臺、清洗槽、漂洗槽和干燥裝置，所述料臺適于裝載掩模板，所述清洗槽內盛裝有易揮發性的清洗液，所述清洗槽設置有用于冷卻所述清洗液的冷卻管，所述掩模板浸泡于所述清洗液中；所述漂洗槽內盛裝有漂洗液，所述掩模板清洗后，浸漬于所述漂洗液中漂洗；所述干燥裝置包括干燥室和鼓風機，所述鼓風機通過管道向所述干燥室內通入無塵空氣，使漂洗后的掩模板干燥。

2.如權利要求1所述的掩模板清洗器，其特征在于：還包括機械手，所述機械手設置于一支架上，將所述掩模板在所述料臺、清洗槽、漂洗槽和干燥裝置之間進行轉運。

3.如權利要求2所述的掩模板清洗器，其特征在于：所述掩模板容置于一洗籃內，所述機械手適于通過所述洗籃對所述掩模板進行轉運。

4.如權利要求1所述的掩模板清洗器，其特征在于：還包括循環泵和儲液箱，所述儲液箱通過所述循環泵與所述清洗槽連接。

5.如權利要求4所述的掩模板清洗器，其特征在于：還包括電控箱，所述電控箱與所述鼓風機和循環泵連接，控制所述鼓風機和循環泵啟動或停止。

6.如權利要求1所述的掩模板清洗器，其特征在于：所述漂洗槽為兩個，該兩個漂洗槽相連通，并且設置有回流電機，使所述漂洗液在兩個漂洗槽內循環流動。

7.如權利要求1～6中任一項所述的掩模板清洗器，其特征在于：還包括封閉外罩，所述料臺、清洗槽、漂洗槽和干燥裝置設置于所述封閉外罩內。