[實用新型]一種多導熱底板高效多晶硅錠鑄錠爐有效
| 申請號: | 201320501569.7 | 申請日: | 2013-08-16 |
| 公開(公告)號: | CN203393257U | 公開(公告)日: | 2014-01-15 |
| 發明(設計)人: | 林洪峰;馮媛;李書森;劉興翀;蘭洵;龍巍;趙秀生 | 申請(專利權)人: | 天威新能源控股有限公司 |
| 主分類號: | C30B28/06 | 分類號: | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司: | 成都行之專利代理事務所(普通合伙) 51220 | 代理人: | 譚新民 |
| 地址: | 610000 四川省成都市雙流*** | 國省代碼: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 導熱 底板 高效 多晶 鑄錠 | ||
1.一種多導熱底板高效多晶硅錠鑄錠爐,包括爐體(1)、設置在爐體(1)內的隔熱籠體(2)、設置在隔熱籠體(2)內的石英坩堝(4),其特征在于:石英坩堝(4)底面貼附有底板(6),底板(6)主要由至少2種不同導熱系數的板體構成,導熱系數小的板體嵌套在導熱系數大的板體內部。
2.根據權利要求1所述的一種多導熱底板高效多晶硅錠鑄錠爐,其特征在于:底板(6)主要由3種不同導熱系數的板體構成,分別為:板體A、板體B、板體C,板體A的導熱系數<板體B的導熱系數<板體C導熱系數,板體A嵌套在板體B內,板體B嵌套在板體C內。
3.根據權利要求1所述的一種多導熱底板高效多晶硅錠鑄錠爐,其特征在于:導熱系數最小的板體中心點與石英坩堝(4)底面中心點對齊。
4.根據權利要求1-3中任意一項所述的一種多導熱底板高效多晶硅錠鑄錠爐,其特征在于:還包括設置在石英坩堝(4)四周面至隔熱籠體(2)區間的側面加熱器(10)。
5.根據權利要求4所述的一種多導熱底板高效多晶硅錠鑄錠爐,其特征在于:側面加熱器(10)的電阻自上而下逐步減小。
6.根據權利要求4所述的一種多導熱底板高效多晶硅錠鑄錠爐,其特征在于:側面加熱器(10)的電阻寬度在石英坩堝(4)頂部指向底板方向上,從上至下寬度逐漸增大。
7.根據權利要求1-3中任意一項所述的一種多導熱底板高效多晶硅錠鑄錠爐,其特征在于:石英坩堝(4)四周面貼附有護板(3)。
8.根據權利要求7所述的一種多導熱底板高效多晶硅錠鑄錠爐,其特征在于:護板(3)靠近底板(6)一端通過絕熱材料板與底板(6)連接。
9.根據權利要求1-3中任意一項所述的一種多導熱底板高效多晶硅錠鑄錠爐,其特征在于:底板(6)遠離石英坩堝的一端連接有矩形的DS散熱塊(7)。
10.根據權利要求1-3中任意一項所述的一種多導熱底板高效多晶硅錠鑄錠爐,其特征在于:石英坩堝(4)正上方設置有頂部加熱器(8)。
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