[實用新型]一種金屬掩膜板集成裝配檢測中心

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320497028.1
• 申請日: 2013-08-15
• 公開（公告）號: CN203451605U
• 公開（公告）日: 2014-02-26
• 發(fā)明（設計）人: 魏志凌;寧軍
• 申請（專利權）人: 昆山思拓機器有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型屬于大平面顯示行業(yè)，涉及OLED顯示屏產業(yè)，尤其涉及一種OLED?Metal?Mask制作裝備。

背景技術

OLED是下一代的顯示技術，與目前使用的LCD顯示技術相比，具有可視角大，色彩艷麗，功耗低等優(yōu)點，會逐漸替代目前主流的液晶顯示技術。OLED顯示屏制作過程中，有一道有機發(fā)光體蒸鍍工藝，需要用到高精度的OLED?Metal?Mask作為蒸鍍模板，OLED?Metal?Mask的質量對顯示屏的質量、成品率有極大影響，在OLED顯示屏行業(yè)，OLED?Metal?Mask是制約OLED屏發(fā)展的關鍵因素。

OLED?Metal?Mask典型的結構包含2個部分：一部分是金屬框、另一部分是帶有精密圖形的金屬片材。金屬框提供結構支撐，金屬片材上的精密圖形為蒸鍍圖形轉印的基準。

傳統(tǒng)的OLED?Metal?Mask采用化學蝕刻的方法，在金屬片材上制作精密的圖形，再采用專用的張網機把片材張緊繃平，采用焊接機把張緊繃平的片材焊接到金屬框上。

傳統(tǒng)的OLED?Metal?Mask生產工藝路線如圖一所示，其中：

圖形轉印：采用高精度的光學曝光設備，把數字化的圖形設計文件精密地轉印到材料上，這一步是第一步，也是圖形精度的來源。這一步包含了若干設備，如光刻設備、貼膜設備等。其中，光刻設備非常昂貴，如半導體的光刻機屬于這一類設備。

蝕刻/電鑄：這是一道電化學生產工藝，經過圖形轉印后的材料，經過電化學工藝后，生成帶有精密圖形的金屬片材。這一道工藝設備有電化學蝕刻線或者電化學電鑄線，工藝參數眾多，要保證圖形精度非常困難。

繃網：對上道工藝完成的帶有精密圖形的金屬片材進行展平，通常采用四邊或兩邊繃拉的方式。由于片材厚度很薄，在受力的時候，會出現(xiàn)拉伸變形，因此會對圖形的精度造成影響，此道工藝內要保證圖形精度是非常困難的。并且由于OLED屏幕越做越大，OLED?Metal?Mask的幅面也越做越大，繃網工藝要在大幅面內保證圖形精度，也越來越困難。

焊接：此道工藝把繃網展平的精密金屬片材焊接到金屬框上，以金屬框的剛性來保持片材的形狀精度不發(fā)生變化。

檢驗：成品的檢驗，包含開口位置精度、尺寸精度以及片材的下垂量。

包裝出貨：經過檢驗的成品，包裝出貨。

顯而易見，目前工藝方式存在以下2個問題：

1.工藝鏈過長

2.工藝鏈中，每一道工藝都對產品的精度有直接影響，且變量眾多，要想獲得良好的產品質量，必須在每一道工藝中進行非常精細的控制，并且對所使用的工藝設備也有很高的要求。整個工藝鏈難度過大。

實用新型內容

有鑒于此，需要克服現(xiàn)有技術中的上述缺陷中的至少一個。本實用新型提供了一種金屬掩膜板集成裝配檢測中心，包括激光焊接裝置、激光切割裝置、繃網組件、精度測量裝置、下垂量測量裝置、機臺、運動導軌，其特征在于，所述繃網組件固定安裝在所述機臺上，所述運動導軌包括Y軸導軌和X軸導軌以及Z軸導軌，所述Y軸導軌固定安裝在所述機臺上，所述X軸導軌安裝在所述Y軸導軌上，可在所述Y軸導軌上進行Y軸方向的運動，所述Z軸導軌安裝在所述X軸導軌上，所述Z軸導軌可以在X軸導軌上進行運動，所述激光焊接裝置、激光切割裝置、精度測量裝置、下垂量測量裝置固定直接或間接安裝在所述Z軸導軌上，既可隨Z軸導軌在X軸導軌、Y軸導軌上進行X、Y軸向的運動，也可以在Z軸導軌上做Z軸方向的運動。

根據本專利背景技術中所述，目前采用的工藝技術具有工藝鏈過長，工藝鏈中，每一道工藝都對產品的精度有直接影響，且變量眾多，要想獲得良好的產品質量，必須在每一道工藝中進行非常精細的控制，并且對所使用的工藝設備也有很高的要求，整個工藝鏈難度過大；因此有必要對工藝過程進行必要的改進和簡化，本實用新型提供的金屬掩膜板集成裝配檢測中心可以一次定位，極大縮短了原有工藝鏈，降低了工藝難度，提高了成品率，降低了OLED?Metal?Mask的生產成本，縮短交貨期，新型的高精度金屬掩膜板集成裝配檢測中心可實現(xiàn)在一臺設備上實現(xiàn)新工藝路線，效率更高，更便捷，節(jié)約能源，減少污染。

本實用新型提供的高精度金屬掩膜板集成裝配檢測中心，具有5種核心功能：激光焊接、激光切割、自動繃網、精度測量、下垂量測量，

采用該設備，可以采用新的工藝路線進行OLED?Metal?Mask的生產，如圖二所示。

繃網/焊接/切割/精度測量/下垂量測量：此道工藝的過程如下：

①對沒有圖形的金屬裸片材進行繃網