[實(shí)用新型]廢氣處理裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320496570.5
• 申請日: 2013-08-14
• 公開（公告）號: CN203379811U
• 公開（公告）日: 2014-01-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馮五裕
• 申請（專利權(quán)）人: 東服企業(yè)股份有限公司
• 主分類號: B01D53/86
• 分類號: B01D53/86
• 代理公司: 北京科龍寰宇知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11139
• 代理人: 孫皓晨

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及廢氣凈化處理的技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種廢氣處理裝置。

背景技術(shù)

周知，在半導(dǎo)體晶圓廠、光電廠、面板廠、太陽能廠于產(chǎn)制例如是晶圓或是各式面板等產(chǎn)品的過程中，有時(shí)會(huì)生成有害的廢氣。例如：以半導(dǎo)體晶圓廠來說，其制作過程中所生成的有害廢氣包含有單硅烷(SiH₄)、氯氣(Cl₂)、PFC(全氟化合物(perfluoro－compounds))等，在處理含有上述氣體的廢氣時(shí)，一般是使用濕式法、吸附法、加熱分解法及燃燒法等4種方法。

其中，加熱分解法是指在廢氣處理槽內(nèi)設(shè)置加熱器，而加熱器在廢氣處理槽內(nèi)形成一加熱腔室，當(dāng)有害廢氣進(jìn)入廢氣處理槽內(nèi)到達(dá)加熱腔室時(shí)，通過加熱器以熱輻射的方式加熱有害廢氣，迫使有害廢氣中所含有害物質(zhì)接受高溫催化，而分解成無害物質(zhì)；而濕式法是指使有害廢氣通過設(shè)置有多個(gè)灑水器的水洗室，憑借灑水器所噴灑的水幕與有害廢氣接觸，將有害廢氣中所含可溶于水的有害物質(zhì)加以溶解，以達(dá)到凈化有害廢氣的效果；至于燃燒法是指利用火焰燃燒有害廢氣，以達(dá)到凈化有害廢氣的效果，由于用來提供火焰燃燒的燃?xì)馐菍⒓淄?CH₄)、乙烷(C₂H₆)、丙烷(C₃H₈)等燃料和空氣以既定比例混合而成，其中甲烷燃燒后會(huì)產(chǎn)生例如是一氧化碳(CO)等有害氣體，造成二次污染。因此，目前在以環(huán)保為前提而采取的半導(dǎo)體制作過程廢氣處理方式，是利用加熱分解法搭配濕式法，來達(dá)到凈化廢氣的效果。

然而，由于傳統(tǒng)的廢氣處理裝置內(nèi)缺乏延滯有害廢氣通過時(shí)間的設(shè)計(jì)，迫使有害廢氣在通過廢氣處理槽內(nèi)接受加熱的時(shí)間較為短暫，導(dǎo)致在以加熱分解法凈化有害廢氣時(shí)，由于有害廢氣接受加熱時(shí)間的不足，導(dǎo)致有害廢氣中的有害物質(zhì)難以完全催化，進(jìn)而影響到有害廢氣的凈化效率，因此，如何能延滯有害廢氣在廢氣處理槽內(nèi)接受加熱的時(shí)間，進(jìn)而提升有害廢氣的凈化效率，已成為熟悉本技術(shù)領(lǐng)域人士所應(yīng)面對的待以改善的重要課題。

實(shí)用新型內(nèi)容

有鑒于此，本實(shí)用新型的目的旨在提供一種廢氣處理裝置，通過延滯有害廢氣在廢氣處理槽內(nèi)受熱凈化的時(shí)間，進(jìn)而提升有害廢氣的凈化效率。

為能實(shí)現(xiàn)上述目的并解決問題，本實(shí)用新型的廢氣處理裝置的技術(shù)手段，包括：一廢氣處理槽，形成一廢氣進(jìn)氣口及一廢氣出氣口，且該廢氣處理槽內(nèi)的四周環(huán)繞配置一環(huán)狀加熱器，該環(huán)狀加熱器內(nèi)設(shè)置一加熱棒，該環(huán)狀加熱器與加熱棒之間形成一加熱腔室；一隔板，穿設(shè)于環(huán)狀加熱器與加熱棒之間，該隔板于加熱腔室內(nèi)間隔形成一氣體流道。其中，該氣體流道的一進(jìn)氣端連通廢氣進(jìn)氣口，該氣體流道的一出氣端則通過加熱腔室連通廢氣出氣口，廢氣自廢氣進(jìn)氣口經(jīng)由氣體流道通過加熱腔室流向廢氣進(jìn)氣口。

依此，本實(shí)用新型是經(jīng)由在環(huán)狀加熱器與加熱棒之間設(shè)置隔板進(jìn)而形成的氣體流道，并利用該氣體流道延滯有害廢氣通過加熱腔室的時(shí)間，使廢氣能充分得到加熱，以凈化有害廢氣中所含有害物質(zhì)，進(jìn)而避免污染環(huán)境。

在實(shí)施上，本實(shí)用新型還包括：

該氣體流道為迂回形流道。依此，以延滯有害廢氣經(jīng)由氣體流道通過加熱腔室的時(shí)間，使有害廢氣在加熱腔室得到充分加熱，進(jìn)而提升廢氣的凈化效率。

該隔板包含一外隔板及一內(nèi)隔板，該外隔板穿設(shè)于環(huán)狀加熱器與加熱棒之間，該內(nèi)隔板穿設(shè)于外隔板與加熱棒之間，該氣體流道是經(jīng)由外隔板及內(nèi)隔板于加熱腔室內(nèi)間隔而形成。其中，該氣體流道包含一第一氣體流道、一第二氣體流道及一第三氣體流道，該第一氣體流道形成于環(huán)狀加熱器與外隔板之間，該第二氣體流道形成于外隔板與內(nèi)隔板之間，該第三氣體流道形成于內(nèi)隔板與加熱棒之間，該氣體流道的進(jìn)氣端依序經(jīng)由第一氣體流道、第二氣體流道及第三氣體流道連通出氣端。依此，通過外隔板及內(nèi)隔板在加熱腔室間隔形成氣體流道，進(jìn)而延滯有害廢氣通過加熱腔室的時(shí)間，以提升有害廢氣的凈化效率。

還包含一水洗室，該水洗室是設(shè)置于廢氣進(jìn)氣口的一端或廢氣出氣口的一端。其中該水洗室還可為多個(gè)，所述水洗室是分別設(shè)置于廢氣進(jìn)氣口的一端及廢氣出氣口的一端。依此，利用水洗室將有害廢氣中可溶于水的有害物質(zhì)加以溶解，同時(shí)冷卻加熱后的廢氣，以利于排放至外界大氣中，而不會(huì)造成環(huán)境的污染。

還包含一高壓空氣進(jìn)氣口，形成于廢氣處理槽上且連通氣體流道的進(jìn)氣端。依此，利用高壓空氣帶動(dòng)有害廢氣通過氣體流道，并提供有害廢氣中所含有害物質(zhì)在接受高溫催化時(shí)需要的氧氣。