[實用新型]一種帶防爆裝置的寶石爐真空系統有效

申請號：	201320491059.6	申請日：	2013-08-12
公開（公告）號：	CN203462172U	公開（公告）日：	2014-03-05
發明（設計）人：	武海軍;劉統青;時剛	申請（專利權）人：	西安創聯新能源設備有限公司
主分類號：	C30B35/00	分類號：	C30B35/00;C30B29/20
代理公司：	西安智大知識產權代理事務所 61215	代理人：	何會俠
地址：	710065 陜***	國省代碼：	陜西;61
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種防爆裝置寶石真空系統
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【權利要求書】：

1.一種帶防爆裝置的寶石爐真空系統，其特征在于：由抽高真空路徑和抽低真空路徑兩路組成，所述抽低真空路徑包括和真空室連通的抽氣管道（1），抽氣管道（1）和氣動高閥（2）的輸入端連接，氣動高閥（2）的旁路輸出端和第一氣動閥（8）的連通端連接，第一氣動閥（8）的閥門端依次與波紋管（9）和機械泵（10）連接；所述抽高真空路徑包括通過冷阱（5）和氣動高閥（2）的主輸出端依次連接的擴散泵（6）和氣筒（7），氣筒（7）和第二氣動閥（4）的閥門端連接，第二氣動閥（4）的連通端和波紋管（9）連接，在所述氣動高閥（2）上安裝有防爆裝置（3）。

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