[實用新型]沿掃描方向進行均勻性補償裝置

有效

• 申請號: 201320490293.7
• 申請日: 2013-08-12
• 公開（公告）號: CN203376558U
• 公開（公告）日: 2014-01-01
• 發明（設計）人: 徐珍華
• 申請（專利權）人: 中山新諾科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 中山市科創專利代理有限公司 44211
• 代理人: 鐘作亮

【技術領域】

本發明涉及一種沿掃描方向進行均勻性補償裝置。

【背景技術】

專利《一種采用灰度補償制提高光刻曝光能量均勻性的方法》，專利申請號：200810018928.7。在該方法中，需要空間光調制器對每個像素進行相位或灰度的處理，還需要在垂直于光軸方向增加補償板，也需要對空間光調制器的各像面位置的光輸出進行時間調制。增加了空間光調制器件的電路控制系統對數據處理的壓力。

【發明內容】

本發明目的是克服了現有技術的不足，提供一種輕易提高光刻掃描曝光過程的均勻性，易于實現，效果好的沿掃描方向進行均勻性補償裝置。

本發明是通過以下技術方案實現的：

沿掃描方向進行均勻性補償裝置，其特征在于包括使用空間光調制器作為圖形發生器的掃描式曝光系統和檢測掃描式曝光系統成像后的沿X軸方向的一維光強度分布信息的光測器，還包括有處理光測器信號并通過相應計算得到均勻性補償圖像的處理器，該處理器將計算得到的均勻性補償圖像加載到空間光調制器的掃描路徑上，使空間光調制器改變圖像的掃描路徑，從而改變沿掃描路徑的光強積分并實現整個圖形曝光區域的光能量一致。

如上所述的沿掃描方向進行均勻性補償裝置，其特征在于所述空間光調制器排列有像素開關，在曝光掃描過程中，固定改變空間光調制器沿掃描路徑上部分像素的開關狀態即可改變沿掃描路徑的光強積分并實現整個圖形曝光區域的光能量一致。

如上所述的沿掃描方向進行均勻性補償裝置，其特征在于所述空間光調制器為單塊或多塊拼接掃描。

如上所述的沿掃描方向進行均勻性補償裝置，其特征在于所述檢測掃描式曝光系統的曝光過程是通過圖像掃描方式實現的，且掃描路徑是沿直線進行的，其掃描方向是沿空間光調制器正掃描進行，或者是沿空間光調制器以任意角度斜掃描進行。

如上所述的沿掃描方向進行均勻性補償裝置，其特征在于所述檢測掃描式曝光系統包括有激光照明光源101、聚光系統102、反射系統103、空間光調制器104、成像系統105及目標107；所述激光照明光源101經過均勻化后，經過聚光系統102，再經過反射系統103，入射到空間光調制器104上，空間光調制器104將入射光調制后經成像系統105成像在目標107處。

沿掃描方向進行均勻性補償辦法，其特征在于包括有如下步驟：

A、所述檢測掃描式曝光系統包括有激光照明光源101、聚光系統102、反射系統103、空間光調制器104、成像系統105及目標107；所述激光照明光源101經過均勻化后，經過聚光系統102，再經過反射系統103，入射到空間光調制器104上，空間光調制器104將入射光調制后經成像系統105成像在目標107處；之后，用光測試工具在目標107處得到沿X方向的一維光強度分布信息P；

B、將步驟A得到的光強分布信息P對圖像掃描路徑進行平均化，設掃描路徑長度分布為S，計算方法如下：平均化后的功率分布P0=P/S；

C、從光強分布值P中找到一個最小光強值Pmin；得到一組新的光強分布值Pt=P-Pmin，則補償分布結果K=Pt/P0,即K=(P-Pmin)×S/P，K表示的是沿掃描路徑方向，每列需要關閉的像素開關數量分布，即每列需要關閉的像素數；

D、將K輸出到空間光調制器上，并且再次重復前面的步驟，將可以得到均勻性補償的預期效果。

如上沿掃描方向進行均勻性補償辦法，其特征在于所述光測試工具為對應波長范圍的光積算器或光功率計等光能量測試儀器。

與現有技術相比，本發明有如下優點：

本裝置是沿圖像的掃描路徑積分測量出各列光強積分值，再對列光強分布結果進行曲線擬合，根據擬合結果，再使用空間光調制器，改變圖像的掃描路徑，從而改變沿掃描路徑積分的光強分布。該裝置處理既不需要在垂直于光軸方向增加任何補償板，也不需要對空間光調制器的各像面位置光的輸出進行時間調制。

同時，該裝置處理的是一維的光強分布結果，處理的數據量較一般方法降低了很多倍。因此，它能夠輕易的提高光刻掃描曝光過程的均勻性，又易于實現，大大降低了光刻照明系統的設計及裝調難度。

【附圖說明】

圖1是檢測掃描式曝光系統的示意圖。

圖2是本發明各個光強分布示意圖。

圖3是本發明原理示意圖。

【具體實施方式】

下面結合附圖對本實用新型進行詳細說明：