[實用新型]藍寶石晶體生長用鎢板加熱器有效
| 申請號: | 201320489317.7 | 申請日: | 2013-08-12 |
| 公開(公告)號: | CN203420013U | 公開(公告)日: | 2014-02-05 |
| 發明(設計)人: | 趙廣軍;李政鴻;梁曉亮 | 申請(專利權)人: | 元鴻(山東)光電材料有限公司 |
| 主分類號: | C30B29/20 | 分類號: | C30B29/20;C30B17/00 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 272000 山東*** | 國省代碼: | 山東;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 藍寶石 晶體生長 用鎢板 加熱器 | ||
技術領域
?本實用新型屬于晶體加工技術領域,更具體的說是一種晶體生長爐中使用的藍寶石晶體生長用鎢板加熱器。
背景技術
目前,現有技術的藍寶石晶體的生產方法一般采用的是泡生法,泡生法生長藍寶石晶體所使用的鎢棒加熱器是由一定直徑和一定長度的鎢棒通過折彎進行組裝形成的籠狀結構,這種籠狀加熱器的直徑和所需的鎢棒數目根據泡生法的溫場工藝條件進行選擇,但是,這種籠狀鎢棒加熱器具有如下明顯的缺點:
1)由于折彎的鎢棒在加工過程中引入較多的應力,使得加熱器的底部容易變形斷裂;
2)高溫穩定性能差,容易變形,造成溫場不均,影響產品質量;
3)維修使用不方便,使用成本較高。
而目前使用的細絲鎢網狀加熱器和鎢棒籠狀加熱器相比雖然具有發熱穩定無折彎等優點,但是細絲編制復雜,對鎢絲材料要求極高、且在組裝和拆卸過程中容易損壞,維修不便,大大縮短了加熱器壽命短。
發明內容
為了解決上述問題,本實用新型提供了一種結構合理、高溫穩定性能良好、不容易發生變形、熱場均勻穩定、晶體產品質量較高、維修使用方便、使用成本較低的藍寶石晶體生長用鎢板加熱器,其具體方案為:所述的藍寶石晶體生長用鎢板加熱器由帶弧鎢板、底部固定環、圓形鎢環、固定螺栓、通孔、固定鉚釘組成,其特征是帶弧鎢板的上端通過固定鉚釘固定在底部固定環上,底部固定環上均勻設置通孔,用于與銅電極相連接,帶弧鎢板的下端設置圓形鎢環,帶弧鎢板通過固定螺栓與圓形鎢環相連接。
本實用新型所述的帶弧鎢板,其特征在于帶弧鎢板的寬度設置為30~50mm,厚度設置為1~3mm。
本實用新型所述的底部固定環,其特征在于底部固定環的材質采用鎢或鉬的一種,其厚度采用3~5mm。
本實用新型所述的固定螺栓,其特征在于固定螺栓的材質采用鎢或鉬的一種。
本實用新型所述的固定鉚釘,其特征在于固定鉚釘的材質采用鎢或鉬的一種。
本實用新型的有益效果是藍寶石晶體生長用鎢板加熱器結構合理,高溫穩定性能良好,不容易發生變形,熱場均勻穩定,晶體產品質量較高,維修使用方便,使用成本較低。
附圖說明
附圖1是本實用新型的結構示意圖;附圖1中:
1.帶弧鎢板,2.底部固定環,3.圓形鎢環,4.?固定螺栓,5.?通孔,6.?固定鉚釘。
具體實施方式
結合附圖1對本實用新型進一步詳細描述,以便公眾更好地掌握本實用新型的實施方法,本實用新型具體的實施方案為:所述的藍寶石晶體生長用鎢板加熱器由帶弧鎢板1、底部固定環2、圓形鎢環3、固定螺栓4、通孔5、固定鉚釘6組成,其特征是帶弧鎢板1的上端通過固定鉚釘6固定在底部固定環2上,底部固定環2上均勻設置通孔5,用于與銅電極相連接,帶弧鎢板1的下端設置圓形鎢環3,帶弧鎢板1通過固定螺栓4與圓形鎢環3相連接。
本實用新型所述的帶弧鎢板1,其特征在于帶弧鎢板1的寬度設置為30~50mm,厚度設置為1~3mm。
本實用新型所述的底部固定環2,其特征在于底部固定環2的材質采用鎢或鉬的一種,其厚度采用3~5mm。
本實用新型所述的固定螺栓4,其特征在于固定螺栓4的材質采用鎢或鉬的一種。
本實用新型所述的固定鉚釘6,其特征在于固定鉚釘6的材質采用鎢或鉬的一種。
本實用新型的有益效果是藍寶石晶體生長用鎢板加熱器結構合理,高溫穩定性能良好,不容易發生變形,熱場均勻穩定,晶體產品質量較高,維修使用方便,使用成本較低。
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