[實(shí)用新型]藍(lán)寶石襯底材料精密拋光夾持陶瓷盤有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201320489293.5 | 申請日： | 2013-08-12 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN203418417U | 公開（公告）日： | 2014-02-05 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 蔡武吉;趙國梁;邱冠華 | 申請（專利權(quán)）人： | 元鴻（山東）光電材料有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B24B37/30 | 分類號(hào)： | B24B37/30 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 272000 山東*** | 國省代碼： | 山東;37 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 藍(lán)寶石 襯底 材料 精密 拋光 夾持 陶瓷 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.藍(lán)寶石襯底材料精密拋光夾持陶瓷盤，由凸臺(tái)（1）、凹槽（2）、導(dǎo)流槽（3）、彈性墊片（4）、導(dǎo)流孔（5）、陶瓷盤體（6）組成，其特征是陶瓷盤體（6）的上端四周設(shè)置凸臺(tái)（1），凸臺(tái)（1）的兩側(cè)分別設(shè)置導(dǎo)流孔（5），陶瓷盤體（6）的上端凸臺(tái)（1）的內(nèi)側(cè)設(shè)置凹槽（2），凹槽（2）的一側(cè)設(shè)置導(dǎo)流槽（3），凹槽（2）的底部設(shè)置彈性墊片（4）。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藍(lán)寶石襯底材料精密拋光夾持陶瓷盤，其特征在于凹槽（2）的深度小于晶體片材的厚度。
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