[實用新型]多晶硅還原爐底盤防拉弧結構

有效

• 申請號: 201320488190.7
• 申請日: 2013-08-09
• 公開（公告）號: CN203461825U
• 公開（公告）日: 2014-03-05
• 發明（設計）人: 吳海龍;茅陸榮;繆錦泉;沈剛;程佳彪
• 申請（專利權）人: 上海森松新能源設備有限公司
• 主分類號: C01B33/035
• 分類號: C01B33/035
• 代理公司: 上海百一領御專利代理事務所(普通合伙) 31243
• 代理人: 馬育麟

技術領域

本實用新型涉及多晶硅生產設備領域，特別是還原爐底盤與電極絕緣結構。?

背景技術

目前，國內外生產多晶硅主要的工藝技術是西門子改良法,所以國內大部分的多晶硅生產廠家所用的設備均為CVD還原爐。還原爐的工作原理是通過通電高溫硅芯將三氯氫硅與氫氣的混和氣體反應生成多晶硅并沉積在硅芯上。還原爐高壓啟動時,硅棒擊穿電壓一般在8000V左右,有時甚至會高達12000V，因此，如果采取的絕緣措施不當,容易在電極與底盤之間出現拉弧放電現象,導致底盤損傷及硅芯無法導通電流,必須在底盤與電極間做好絕緣措施。目前國內還原爐設備在高壓啟動時存在電極下端與底盤下表面的拉弧現象,這不僅增加了生產過程中的風險,也增加了生產過程中的成本。?

實用新型內容

本實用新型是多晶硅還原爐底盤防拉弧結構，用于解決還原爐高壓啟動時電極與底盤下表面的拉弧問題。?

為了實現上述效果，本實用新型多晶硅還原爐底盤防拉弧結構采用的技術方案是：包括螺母(1)、電極座(5)、底盤下底板(6)、絕緣套(7)、電極(8)，所述電極座（5）與底盤下底板（6）固定連接，所述電極座（5）內安裝有電極（8），其特征在于還包括彈性緩沖裝置，所述彈性緩沖裝置與電極座（5）之間還設有絕緣杯(4)。?

進一步的，所述彈性緩沖裝置包括彈簧墊圈(2)以及平墊圈(3)，彈簧墊圈的一端與螺母（1）相連，另一端與所述的平墊圈（3）相連，所述的平墊圈（3）?的另一端與所述絕緣杯（4）相連。?

進一步的，所述電極座（5）內安裝有絕緣套（7），電極（8）設置于所述絕緣套（7）內。?

進一步的，所述絕緣杯（4）分為上下兩端,上端為開有通孔的杯底（4-1）,下端為杯體（4-2）。?

進一步的，所述電極（8）穿過所述電極座（5）并穿過所述絕緣杯（4）。?

進一步的，所述絕緣套（7）插入所述杯底（4-1）并接近杯底（4-1）下表面。?

進一步的，所述杯體（4-2）內由上往下依次安裝有平墊圈（3）、彈簧墊圈（2）和螺母（1），所述杯體（4-2）的尺寸與所述平墊圈3）、彈簧墊圈（2）和螺母（1）相適應。?

進一步的，所述絕緣杯(4)下端的杯體（4-2）為圓柱形、多邊柱形的任意一種。?

進一步的，所述絕緣杯(4)下端的杯體（4-2）的口徑為縮徑口或擴散口的形式的任意一種。?

一種多晶硅還原爐底盤防拉弧結構包括螺母、彈性緩沖裝置、絕緣杯、電極座、底盤下底板、和電極，電極座的下端安裝有絕緣杯。?

優選的，該彈性緩沖裝置可以是包括彈簧墊圈、平墊圈的組合結構。?

其中，優選的，電極座與底盤下底板焊接連接，電極座內安裝有絕緣套，絕緣套內安裝有電極。?

當電極穿過電極座并穿過絕緣杯,杯體內由上往下依次安裝有平墊圈、彈簧墊圈和螺母，螺母起到緊固整套電極的作用。?

本實用新型的工作原理是：在還原爐開爐時,由于硅芯在常溫下的阻值很高，需要通過高壓電進行擊穿導通,形成回路。在電流作用下，硅棒發熱并在表面進行沉積反應，直至硅棒生長完成。在高壓啟動階段,硅芯未導通之前,由于設備接地,此時電極與底盤之間的電壓即為電極上施加的電壓，由于電極下端?緊固件與底盤下底板的距離比較近，且該處存在易引起尖端放電的毛刺和尖角，容易在電極與底盤之間形成電弧。?

因為絕緣杯的杯體將螺母、彈簧墊圈、平墊圈包裹起來，增加了他們與設備的底盤下底板之間的絕緣距離，通過絕緣杯將電極和電極底部的零部件與設備底盤下底板隔開，避免了與底盤下底板的尖端放電拉弧現象，降低了生長過程中的風險，提高了高壓啟動的成功率，降低了生產成本。?

同時，該絕緣杯的杯底還將平墊圈與電極座隔開，既傳導了螺母預緊力，又將平墊圈與電極座隔離絕緣。?

本實用新型經試驗證明，其效果是有效和顯著的。本實用新型位于設備的電極和底盤下底板的接觸處，通過該結構的應用，避免了底盤下表面的拉弧現象，降低了生長過程中的風險，提高了高壓啟動的成功率，降低了生產成本。?

附圖說明

圖1是本實用新型的多晶硅還原爐底盤防拉弧結構示意圖。圖中1是螺母、2是彈簧墊圈、3是平墊圈、4是絕緣杯、5是電極座、6是底盤下底板、7是絕緣套、8是電極，4-1是杯底、4-2是杯體、。?

圖2是本實用新型中的絕緣杯杯體第一種形式示意圖；?

圖3是本實用新型中的絕緣杯杯體第二種形式示意圖；?

圖4是本實用新型中的絕緣杯杯體第三種形式示意圖。?

具體實施方式