[實用新型]絲鋸及用于絲鋸的絲線監控系統

有效

• 申請號: 201320488174.8
• 申請日: 2013-08-09
• 公開（公告）號: CN203792545U
• 公開（公告）日: 2014-08-27
• 發明（設計）人: C·佐米尼;A·施密特
• 申請（專利權）人: 應用材料瑞士有限責任公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04;G05B19/048
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 侯穎媖

技術領域

本案的實施方式涉及用于絲鋸的絲線監控系統、絲鋸。現有絲鋸可加裝根據本案的絲線監控系統。更具體而言，本案涉及用于測量絲線的物理特性的絲線監控系統。本案具體而言涉及多絲的絲鋸。本案的絲鋸特別適合于切割或鋸切諸如硅塊或石英塊的硬質材料。?

背景技術

絲鋸被用于從諸如硅的一塊硬質材料切割塊或磚、薄片，例如，半導體晶片。在這種裝置中，從繞線管饋送絲線且絲線由絲線導向筒導向并張緊。用于鋸切的絲線可設置有研磨材料。作為一種選擇，所述研磨材料可設置為漿料。這可在絲線接觸待切割的材料之前不久進行。由此，研磨劑通過用于切割材料的絲線被攜帶到切割位置。作為另一種選擇，研磨劑可使用涂層而提供在絲線上，例如如同用金剛線一樣。例如，金剛石顆粒可利用涂層而提供在金屬絲線上，其中金剛石顆粒嵌入絲線的涂層中。由此，研磨劑與絲線緊固地連接。?

絲線由絲線導向器導向并/或張緊。這些絲線導向器通常被覆蓋有一層合成樹脂，且這些絲線導向器被刻劃有凹槽，所述凹槽具有精確的幾何形狀和尺寸。絲線圍繞絲線導向器纏繞且形成網或絲網。在鋸切工藝期間，絲線以相當大的速度移動。通常，將待鋸切的塊件，例如連接到支撐梁或支持件保持的錠料，朝所述絲網推動。在鋸切期間，待鋸切的塊件移動通過絲網，其中此移動的速度決定切割速度和/或可在給定量的時間之內鋸切的有效切割面積。?

通常，存在使用較細絲線以減小切割厚度且由此減少浪費的材料的傾向。還希望使用金剛線。這些較細絲線和金剛線通常更容易受到損壞，且在高應力之下，所述絲線可能更容易斷裂。此外，存在增加切割速度以便提高絲鋸產量的期望。用于使塊件移動通過絲網的最大速度以及在給定量的時間之內的最大有效切割面積受到若干因素的限制，所述因素包括絲線速度、待鋸切的材料的饋送速度、待鋸切的材料的硬?度、干擾影響、期望精確度，等等。當速度增加時，在絲線上的應力通常也增加。避免絲線的損壞、過度磨損、故障或斷裂的上述問題在更高的鋸切速度下甚至更加關鍵。?

重要的是以一種方式操作絲鋸，以避免或減少變化的鋸切質量、變化的鋸切寬度、絲線的振動，乃至絲線的斷裂。在最壞的情況下，如果絲線斷裂，則不希望的結果可能出現。絲線的松動端可能在機器周圍以不可控制的方式移動，這可能損害絲線導向器系統或所述機器的其他部分。此外，如果絲線斷裂而繼續移動，那么絲線將從待鋸切的物體扯出。?

實用新型內容

鑒于上文，本案提供一種克服本技術中的至少一些問題的絲鋸。此目的至少在某種程度上通過如本實用新型所述的用于絲鋸的絲線監控系統和絲鋸來實現。本案的其它方面、優點和特征從權利要求書、說明書和附圖顯而易見。?

鑒于上文，本實用新型提供了一種用于絲鋸的絲線監控系統。所述絲線監控系統包括：傳感器裝置；第一絲線定位系統，用于將第一絲線從所述第一絲線的第一位置移動到所述第一絲線的第二位置；第一絲線保持布置，被設置以用于將所述第一絲線保持在所述第二位置處，以便使用所述傳感器裝置測量所述第一絲線的物理特性。?

根據本案的一個方面，現有絲鋸可加裝如本文所述的絲線監控系統。?

根據本案的另一方面，提供了包括至少兩個絲線導向筒和如本文所述的絲線監控系統的絲鋸。?

進一步為了更好的理解，描述了用于監控至少一個絲線的物理特性的方法，其中所述方法包括：將至少一個絲線從第一位置移動到第二位置；保持所述至少一個絲線的第二位置；以及在所述第二位置處測量所述至少一個絲線的物理特性。?

本案還針對用于進行所描述的方法的設備且包括用于執行所描述的各方法步驟的設備部件。?

本案的其它方面、優點和特征從從屬權利要求、說明書和附圖顯而易見。?

附圖說明

以可詳細理解本案上述特征的方式，通過參考實施方式可對上文所簡要總結的本案作更具體的描述。附圖涉及本案的實施方式且附圖描述在下文中。典型的實施方式描繪于附圖中且詳述在以下的描述中。在所述附圖中：?

圖1示出根據本文所述的實施方式的包括絲線監控系統的絲鋸的示意側視圖；?

圖2示出根據本文所述的實施方式的絲線監控系統的示意側視圖，其中第一絲線處于第一位置；?

圖3示出根據圖2的絲線監控系統的示意側視圖，其中所述第一絲線處于第二位置；?

圖4示出根據本文所述的實施方式的絲線監控系統的示意側視圖；其中所述第一絲線處于第一位置且第二絲線處于第一位置；?

圖5示出根據圖4的絲線監控系統的示意側視圖，其中所述第一絲線處于第二位置且所述第二絲線處于第二位置；?