[實用新型]一種高效再生低溫泵

有效

• 申請號: 201320487718.9
• 申請日: 2013-08-10
• 公開（公告）號: CN203404038U
• 公開（公告）日: 2014-01-22
• 發明（設計）人: 許令順;武義鋒;徐中堂;仰葉;周家屹
• 申請（專利權）人: 安徽萬瑞冷電科技有限公司
• 主分類號: F04B37/08
• 分類號: F04B37/08
• 代理公司: 安徽合肥華信知識產權代理有限公司 34112
• 代理人: 余成俊

技術領域

本實用新型涉及一種低溫泵，具體為一種高效再生低溫泵。

背景技術

低溫泵在抽氣過程中，氣體分子首先與低溫泵的障板發生碰撞，凝固點高的氣體分子，如水、氮氣等將會在直接吸附在障板表面，而一些凝固點低的氣體分子，如氫氣、氦氣等則會通過障板，被吸附陣吸附。在低溫泵工作一段時間后，由于表面覆蓋了比較厚的吸附分子，如圖1中的11所示，此時低溫泵難以繼續維持其抽氣性能，需要進行再生。再生的方法是在制冷機的一級冷頭和二級冷頭處分別安裝一加熱塊，將低溫泵的障板、冷屏和吸附陣進行加熱，此時吸附的分子會發生脫附。在低溫泵的抽氣再生口處安裝一臺機械泵，將脫附的分子抽走。

在進行加熱過程中，脫附分子首先通過障板從冷屏口擴散出去，然后會沿著冷屏與殼體之間的空隙，最終通過抽氣口而排出。因為障板的結構特殊，流導受限制，脫附分子通過障板時會經過與障板多次碰撞才通過，所以嚴重影響了再生效率。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種高效再生低溫泵，以解決現有技術中由于障板的結構特殊，流導受限制，脫附分子通過障板時會經過與障板多次碰撞才通過，所以嚴重影響了再生效率的問題。

為達到上述目的，本實用新型采用的技術方案為：

一種高效再生低溫泵，其特征在于：包括有泵殼體，所述泵殼體上端安裝有制冷機，并設有與泵殼體內腔連通的安全閥和抽氣再生口，所述泵殼體下端設有泵口法蘭，所述泵殼體內由上至下分布有制冷機一級冷頭和制冷機二級冷頭，所述制冷機二級冷頭外罩有冷屏，所述冷屏內設有吸附陣和障板，所述冷屏側壁上開有通氣孔。

所述的一種高效再生低溫泵，其特征在于：所述通氣孔設置在冷屏側壁中段。

本實用新型的有益效果為：

本實用新型結構簡單合理，采用在冷屏上設置通氣孔的設計，這樣在再生過程中，從吸附陣表面脫附的氣體分子，可以直接通過該孔進入殼體上端，然后通過抽氣口排出，避免了所有脫附分子都必須經過障板的問題，有效地縮短了低溫泵再生時間，提高了再生效率。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖。

具體實施方式

如圖1所示，一種高效再生低溫泵，包括有泵殼體2，泵殼體2上端安裝有制冷機1，并設有與泵殼體2內腔連通的安全閥9和抽氣再生口8，泵殼體2下端設有泵口法蘭10，泵殼體2內由上至下分布有制冷機一級冷頭6和制冷機二級冷頭7，制冷機二級冷頭7外罩有冷屏3，冷屏3內設有吸附陣4和障板5，冷屏3側壁上開有通氣孔12，吸附陣4和障板5表面在抽氣過程中會覆蓋較厚的吸附分子11。

通氣孔12設置在冷屏3側壁中段。