[實用新型]一種可補償軸系誤差的立式晶圓形狀測量裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320485954.7
• 申請日: 2013-08-09
• 公開（公告）號: CN203375951U
• 公開（公告）日: 2014-01-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 夏發(fā)平
• 申請（專利權(quán)）人: 昆山允可精密工業(yè)技術(shù)有限公司
• 主分類號: G01B11/30
• 分類號: G01B11/30;G01B11/06
• 代理公司: 江蘇致邦律師事務(wù)所 32230
• 代理人: 謝偉

1.一種可補償軸系誤差的立式晶圓形狀測量裝置，其特征在于，包括：

鋼架底座；

電控柜，所述的電控柜安裝在鋼架底座內(nèi)部，電控柜裝有電控系統(tǒng)；

工控機，所述的工控機設(shè)在電控柜的側(cè)面、鋼架底座的內(nèi)部；

平臺，所述的平臺設(shè)在鋼架底座上；

支撐座，所述的支撐座設(shè)在平臺上；

橫梁，所述的橫梁設(shè)在支撐座上；

軸系，所述的軸系包括X軸、Y軸、Z軸和旋轉(zhuǎn)軸；

所述的X軸設(shè)在橫梁上；

所述的Y軸設(shè)在平臺上，與X軸相互垂直；

所述的Z軸固定在X軸動板上、與X軸運動方向相互垂直，且其運動方向垂直于測量平臺；

所述的旋轉(zhuǎn)軸固定在Y軸動板上；

晶圓承載臺，所述的晶圓承載臺固定在旋轉(zhuǎn)軸上；

接觸式測長裝置，所述的接觸式測長裝置固定在Z軸動板上；

平面平晶，所述的平面平晶設(shè)在與X軸運動方向平行的橫梁上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量裝置，其特征在于，所述的接觸式測長裝置底板的上下分別安裝有空氣導(dǎo)軌，上、下空氣導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)相同，其靠外側(cè)分別安裝有探針，而空氣導(dǎo)軌的導(dǎo)芯與測長裝置的下端板、上端板之間安裝有精密彈簧，導(dǎo)芯的另一端分別安裝有連接件，連接件上分別安裝有激光尺，激光尺對應(yīng)位置安裝有激光位移傳感器，激光位移傳感器相對激光尺的安裝精度通過激光位移傳感器安裝板來進行調(diào)節(jié)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的測量裝置，其特征在于，所述的空氣導(dǎo)軌僅具有一維運動自由度。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量裝置，其特征在于，所述的軸系全部通過伺服電機精確控制。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量裝置，其特征在于，所述的晶圓承載臺包括承載臺安裝座、轉(zhuǎn)接板、調(diào)節(jié)螺釘、精密彈簧、吸氣孔氣管接頭、直角定位塊、吸附孔板和吸附槽板，所述的轉(zhuǎn)接板設(shè)在承載臺安裝座的上表面，吸附槽板設(shè)在轉(zhuǎn)接板的上方，吸附槽板與轉(zhuǎn)接板通過調(diào)節(jié)螺釘連接在一起，吸附槽板與轉(zhuǎn)接板之間設(shè)有精密彈簧，所述的吸附孔板設(shè)在吸附槽板的上表面，直角定位塊通過定位銷釘固定在吸附孔板的兩條直角邊上，所述轉(zhuǎn)接板上有若干個圓孔，在吸附槽板對應(yīng)轉(zhuǎn)接板上圓孔的位置設(shè)有吸氣孔氣管接頭。