[實用新型]磁場感測器

有效

• 申請號: 201320483844.7
• 申請日: 2013-08-08
• 公開（公告）號: CN203455465U
• 公開（公告）日: 2014-02-26
• 發明（設計）人: 林文勝
• 申請（專利權）人: 力智電子股份有限公司
• 主分類號: G01R33/02
• 分類號: G01R33/02;G01R33/07
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國

技術領域

本實用新型是有關于一種磁場感測器。

背景技術

隨著集成電路以及機電整合技術的進步，具有導航與定位功能的電子產品也越來越多樣化。電子羅盤在車用導航、飛航以及個人手持式裝置的應用領域中，提供了相當于傳統羅盤的功能。

目前，電子羅盤在霍爾效應感測器(Hal-effect?sensor)技術的基礎上，只需使用一個半導體裝置就能夠立體偵測磁場。此半導體裝置包含磁性元件、霍爾(Hall)元件或其他感測器元件，這些元件和集成電路可一起配置在半導體芯片的表面上。然而，在制造這類半導體裝置的制程中容易發生污染問題。這是因為磁性元件包含有含鐵、鈷或鎳等磁性金屬材料，其在半導體制程中容易污染其他元件。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種新穎的磁場感測器，其包含線路載板、圖案化磁性薄膜及磁場感測元件，而圖案化磁性薄膜設置于線路載板上。由于圖案化磁性薄膜與磁場感測元件并未整合在一個半導體裝置中，故不會發生磁性材料污染其他元件的問題，因而可解決已知技術所面臨的問題。

本實用新型的一方面提供一種磁場感測器，包含線路載板、圖案化磁性薄膜及磁場感測元件。圖案化磁性薄膜設置于線路載板的表面的上方。磁場感測元件電性連接圖案化磁性薄膜。

根據本實用新型的一實施方式，圖案化磁性薄膜覆蓋并接觸線路載板的表面。

根據本實用新型的一實施方式，線路載板具有一立體結構凸出或凹入線路載板的表面，立體結構具有至少三個表面互不平行，圖案化磁性薄膜設置于立體結構的三個表面的至少一者的上方。

根據本實用新型的一實施方式，立體結構為一矩形凸部，矩形凸部具有四個側面及一頂面，圖案化磁性薄膜分別設置于四個側面的相鄰的二個側面及頂面中的至少二者的上方。

根據本實用新型的一實施方式，立體結構為一矩形凹部，矩形凹部具有四個側面及一底面，圖案化磁性薄膜分別設置于四個側面的相鄰的二個側面以及底面中的至少二者的上方。

根據本實用新型的一實施方式，線路載板具有一第一導電孔位于線路載板內部，圖案化磁性薄膜透過第一導電孔電性連接磁場感測元件。

根據本實用新型的一實施方式，圖案化磁性薄膜的上視輪廓為十字形。

根據本實用新型的一實施方式，磁場感測元件設置于線路載板的表面的上方。

根據本實用新型的一實施方式，磁場感測元件設置于圖案化磁性薄膜的正上方。

根據本實用新型的一實施方式，磁場感測器還包含一錫球設置于線路載板的另一表面上，線路載板的另一表面相對于線路載板的表面。

根據本實用新型的一實施方式，線路載板具有一第二導電孔貫穿線路載板，磁場感測元件透過第二導電孔電性連接錫球。

附圖說明

圖1A是繪示依照本實用新型的第一實施方式的圖案化磁性薄膜的立體示意圖；

圖1B是繪示依照本實用新型的第一實施方式的磁性感測器的立體示意圖；

圖1C是繪示沿圖1B的線段1C-1C’的剖面示意圖；

圖2是繪示依照本實用新型的第二實施方式的磁性感測器的立體示意圖；

圖3是繪示依照本實用新型的第三實施方式的磁性感測器的立體示意圖；

圖4A是繪示依照本實用新型的第四實施方式的磁性感測器的立體示意圖；

圖4B是繪示沿圖4A的線段4B-4B’的剖面示意圖。

具體實施方式

以下將以附圖揭露本實用新型的多個實施方式，為明確說明起見，許多實務上的細節將在以下敘述中一并說明。然而，應了解到，這些實務上的細節不應用以限制本實用新型。也就是說，在本實用新型部分實施方式中，這些實務上的細節是非必要的。此外，為簡化附圖起見，一些已知慣用的結構與元件在附圖中將以簡單示意的方式繪示。

第一實施方式：圖案化磁性薄膜的制造方法

圖1A是繪示本實施方式的圖案化磁性薄膜120的立體示意圖。首先，可局部形成磁性材料于線路載板110的表面110a上。例如可利用光學微影(photolithographic)與蝕刻制程、網版印刷制程、噴墨涂布制程、金屬遮罩沉積制程、金屬遮罩蒸鍍制程或其它合適的制程，形成圖案化的磁性材料于線路載板110的表面110a上。上述磁性材料可包含磁粉，磁粉的材料可為鐵、鈷、鎳、銅或其組合。