[實(shí)用新型]一種防止籽晶繩繞亂的卷絲輪機(jī)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320483326.5
• 申請(qǐng)日: 2013-08-08
• 公開（公告）號(hào): CN203462165U
• 公開（公告）日: 2014-03-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 時(shí)剛;張靈鴿;劉統(tǒng)青
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 西安創(chuàng)聯(lián)新能源設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): C30B15/30
• 分類號(hào): C30B15/30;C30B15/00
• 代理公司: 西安智大知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 61215
• 代理人: 何會(huì)俠

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及晶體硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種防止籽晶繩繞亂的卷絲輪機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)

提拉法單晶硅生長(zhǎng)的原理，在惰性氣體（氬氣）環(huán)境中，用石墨電阻加熱器將多晶硅材料熔化，在特定溫區(qū)內(nèi)，通過晶體傳動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)籽晶運(yùn)動(dòng)，通過坩堝傳動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)熔液運(yùn)動(dòng)，形成晶體的固液交界面，并產(chǎn)生一個(gè)適合硅晶體生長(zhǎng)的溫度場(chǎng)，實(shí)現(xiàn)生長(zhǎng)成無位錯(cuò)的單晶硅棒，其中晶體傳動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)籽晶實(shí)現(xiàn)兩個(gè)運(yùn)動(dòng)，晶升和晶轉(zhuǎn)，本發(fā)明涉及晶升運(yùn)動(dòng)部分。

目前大多數(shù)單晶硅爐的晶升運(yùn)動(dòng)，是通過在真空腔室頂端，設(shè)置一套卷絲輪機(jī)構(gòu)，卷絲輪上設(shè)有螺旋槽，一端安裝有單晶體籽晶的籽晶繩纏繞在卷絲輪上的螺旋槽內(nèi)，籽晶繩的另一端固定在卷絲輪上，通過傳動(dòng)系統(tǒng)帶動(dòng)卷絲輪轉(zhuǎn)動(dòng)，使籽晶繩在卷絲輪上順著既定軌跡纏繞或者脫開，帶動(dòng)籽晶實(shí)現(xiàn)上下運(yùn)動(dòng)。此結(jié)構(gòu)存在的弊端：由于晶升運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)安裝在單晶爐最頂端，不易監(jiān)控其機(jī)械傳動(dòng)運(yùn)行的狀態(tài)，有存在安裝失誤或者操作失誤造成籽晶繩回彈脫出卷絲輪螺旋槽的隱患，此隱患不及時(shí)消除，當(dāng)籽晶繩再次受力時(shí)有可能會(huì)被割傷拉斷，從而造成重大的安全質(zhì)量事故。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決上述現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，本實(shí)用新型的目的在于提供一種限制籽晶繩繞亂的裝置，解決了目前單晶爐在運(yùn)行過程中籽晶繩脫出螺旋槽的技術(shù)問題。

為達(dá)到以上目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案：

一種防止籽晶繩繞亂的卷絲輪機(jī)構(gòu)，包括安裝在單晶爐真空腔室1內(nèi)的花鍵軸2，在花鍵軸2上安裝有卷絲輪組件5，在卷絲輪組件5外周的螺旋槽內(nèi)纏繞籽晶繩4a，在纏繞籽晶繩4a的卷絲輪組件5外周安裝有限位套3，所述限位套3和纏繞在卷絲輪組件5上的籽晶繩4a外周間隙配合，限位套3通過安裝在單晶爐真空腔室1一端的法蘭6軸向固定，晶升驅(qū)動(dòng)裝置7安裝在花鍵軸2位于單晶爐真空腔室1外的一端。

本實(shí)用新型通過在纏繞籽晶繩4a的卷絲輪組件5外周安裝有限位套3，保證籽晶繩始終順著卷絲輪螺旋槽軌道纏繞或者脫開，徹底消除了籽晶繩脫槽時(shí)未及時(shí)發(fā)現(xiàn)并處理，當(dāng)再次受力被割傷拉斷的隱患。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型的剖視圖。

圖2是圖1沿A-A向的剖視圖。

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖及具體實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。

如圖1和圖2所示，本實(shí)用新型一種防止籽晶繩繞亂的卷絲輪機(jī)構(gòu)，包括安裝在單晶爐真空腔室1內(nèi)的花鍵軸2，在花鍵軸2上安裝有卷絲輪組件5，在卷絲輪組件5外周的螺旋槽內(nèi)纏繞籽晶繩4a，在纏繞籽晶繩4a的卷絲輪組件5外周安裝有限位套3，所述限位套3和纏繞在卷絲輪組件5上的籽晶繩4a外周間隙配合，限位套3通過安裝在單晶爐真空腔室1一端的法蘭6軸向固定，晶升驅(qū)動(dòng)裝置7安裝在花鍵軸2位于單晶爐真空腔室1外的一端。

本實(shí)用新型的工作原理為：晶升驅(qū)動(dòng)裝置7運(yùn)行，帶動(dòng)花鍵軸2上的卷絲輪組件5轉(zhuǎn)動(dòng)，籽晶繩4a順著卷絲輪組件5上的螺旋槽軌道纏繞或者脫開，實(shí)現(xiàn)籽晶繩另一端4b上下移動(dòng)。限位套3位于卷絲輪組件4上的籽晶繩4a之外，限制籽晶繩4a由于操作不當(dāng)回彈脫出卷絲輪組件5上的螺旋槽。