[實用新型]具有孔狀式晶圓洗凈槽

有效

• 申請號: 201320482929.3
• 申請日: 2013-08-08
• 公開（公告）號: CN203481206U
• 公開（公告）日: 2014-03-12
• 發明（設計）人: 溫進浪
• 申請（專利權）人: 溫進浪
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01L21/67;B08B3/02
• 代理公司: 北京匯澤知識產權代理有限公司 11228
• 代理人: 鄭利華

1.一種具有孔狀式晶圓洗凈槽，其特征在于，其由洗凈槽、固定座、夾具頭、數個噴水結構、快排水自動閥、氮氣管盤、進退回轉馬達、進水管、供水管、溢水孔及加壓馬達所組裝成，其中該洗凈槽呈倒凸形，而內部左、右兩側裝設有噴水結構，所述噴水結構主要由供水管、噴水頭所組裝成，裝設在洗凈槽由上往下的左、右側并裝設有噴水頭，洗凈槽前、后側面與左側面裝設溢水孔，固定座裝設在洗凈槽的上方固定夾具頭，而夾具頭裝設在固定座的下方，而夾具頭的兩側裝設被洗凈晶圓，而洗凈槽底部裝設一氮氣管盤，而洗凈槽的底部裝設有一快排水自動閥。

2.根據權利要求1所述的具有孔狀式晶圓洗凈槽，其特征在于，加壓馬達上方連接加壓的進水管，而下方連接未加壓的進水管并與洗凈槽連接動作。

3.根據權利要求1所述的具有孔狀式晶圓洗凈槽，其特征在于，進退回轉馬達的連接桿連接洗凈槽。

4.根據權利要求1所述的具有孔狀式晶圓洗凈槽，其特征在于，氮氣管盤由多孔槽板及纏繞多孔槽板的氮氣管所組成，所述氮氣管盤裝設在洗凈槽的底部與快排水自動閥之間。

5.根據權利要求4所述的具有孔狀式晶圓洗凈槽，其特征在于，多孔槽板上裝設有規律排列的孔洞。